中古 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9240729 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flexは、特許取得済みのプラズマ技術を搭載した高精度プラズマエッチング装置です。このエッチャーは、優れたエッチング品質、高いプロセス安定性、優れた均一性を備えた幅広い半導体アプリケーション向けに設計されています。広い温度範囲を提供し、幅広い動作条件をサポートします。エッチャーはクラスタリングアプリケーションにも使用でき、最大8つのプロセスチャンバーを収容でき、コンポーネントの同時エッチングを可能にします。Exelan Flexにはパルスプラズマソースが搭載されており、エッチング、ゲート酸化エッチング、窒化エッチング、高アスペクト比エッチングなどのアプリケーションで優れたエッチプロセス制御が可能です。その先進的なプラズマ処理システムは、多次元磁場を利用して、均一なプラズマ分布と非常に反復可能なエッチプロファイルを生成します。これにより、優れたエッチング深度の均一性とデバイスの立っている波が低くなります。また、統合ガスミキサーと動的プロセス制御用の自動ガスパネルを備えています。エッチャーには、エッチングプロセスを監視するための光学エンドポイント検出ユニットが搭載されています。また、エッチングパラメータを監視および調整して、正確で再現可能なエッチプロファイルを実現する自動制御マシンも備えています。Exelan Flexはフットプリントが小さく、ウェハローダー、ロボットハンドラ、エッチング後の検査ツールなど、他の機器と簡単に統合できます。これは、資産構成の完全なカスタマイズを可能にするモジュラー設計を備えているだけでなく、簡単なメンテナンスとプロセス転送を提供します。結論として、ONTRAK 2300 Exelan Flexは、優れたエッチング品質、高いプロセス安定性、優れた均一性を備えた、幅広い半導体アプリケーション向けに設計された非常に革新的なエッチャーです。高度なプラズマ処理技術と高い反復性を持つエッチングプロファイルにより、プラズマエッチングプロセスに最適です。