中古 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9237871 を販売中

ID: 9237871
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
Dielectric etcher, 12" (2) Chambers 2300 Transport module Dual arm effector wafer handling, 12" Automated wafer centering Flat / Notch finding User interface Side monitor Press gauge in SI unit Online: GEM 300 (2) 2300 Exelan flex DD etch process modules Fixed gap electrode / One box ALCATEL 1600MT Dual gas feed Dual zone ESC Heated upper electrode (2) 12 Gas configurations 2 PM stack kit System UPS circuity Seismic bracket (TM / PM / MWS) System weight dispersion plate (TM / PM / RPM) ELB With ring lug (24) MFC 1661 Units (2) PIO Sensors (2) OMRON Tag readers Analog press gauge in SI unit Digital press gauge in SI unit Signal input / Output Quick cleaning kit 2300 Exelan Pend valve CLN kit (2) TCU: ATS DEX-20A Chillers (3) FOUP 2004 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flexは、半導体製造業界のニーズを満たすように特別に設計された強力なエッチングおよびアッシャー装置です。特許取得済みのExelan加工プラットフォーム上に構築されたこの高度なシステムは、ウェットおよびドライエッチングとアッシングの両方に最高レベルの精度とパフォーマンスを提供します。Exelan Flexユニットは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを使用して、ユーザーは個々のチャンバーを制御し、エッチングおよびアッシャー操作中に条件を監視することができます。内蔵のデータロガーを使用すると、すべてのプロセスですべての設定とデータポイントを追跡および監視できます。このデータは、エッチングとアッシャーのプロセスと結果として生じる最終製品品質との間の相関関係を識別するために使用できます。この高度な機械は、デュアルモードエッチングなどの独自の加工技術を備えており、エッチングとアッシングを同時に行うことができます。これにより、ユーザーは完全なエッチングとアッシングプロセスに必要な時間を短縮し、すべての生産ラインで一貫した結果を維持できます。さらに、このツールは2次元エッチング機能を提供し、角度付きまたは曲線付きの形状をエッチングすることができます。Exelan Flexは取り外し可能なホットプレートも備えており、簡単で正確なメンテナンスとプロセス制御を可能にします。さらに、ホットプレートは500°Cまで加熱することができます。これにより、高度なエッチングおよびアッシングプロセスのトータルプロセス制御を実現できます。最後に、この資産は内蔵の安全対策を備えており、過熱シナリオを防止し、ダウンタイムを削減します。全体として、ONTRAK 2300 Exelan Flexは、最高レベルの精度とパフォーマンスをユーザーに提供する強力なエッチングおよびアッシングモデルです。デュアルモードエッチング、2次元エッチング、取り外し可能なホットプレートを使用することで、ユーザーはすべての本番稼働中に一貫性とトータルプロセス制御を保証できます。さらに、安全対策と内蔵データロガーにより、保護とデータトラッキングのレイヤーが追加されます。
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