中古 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9232235 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flexは、ウェーハ上に高精度のデバイスやパターンを生成するように設計されたエッチャー/アッシャーです。ProExel技術を使用して、物理蒸着（PVD）と化学蒸着（CVD）を組み合わせて、さまざまなサイズと厚さのウェーハに正確にエッチングし、シリコンやその他の材料をアッシュする高度なエッチャー/アッシャーです。エッチャー/アッシャーは、周波数変調プラズマ源、水平リフトオフチャンバー、ウェットプラズマリアクター、垂直リフトオフチャンバー、エッチチャンバー、ロードロックなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。プラズマ源は、エッチングされる材料と相互作用する高エネルギーイオンを生成し、エッチングの選択性を向上させ、エッチング速度を低下させます。水平リフトオフチャンバーにより、オペレータはウェーハを傾けたり回転させたりすることができ、プロセス全体を自由に移動できます。ウェットプラズマリアクターは、ウェーハ保護フィルムや別のチャンバーを必要とせずに均一なエッチプロファイルを生成します。垂直リフトオフチャンバーとエッチチャンバーにより、エッチプロセスの自動化がさらに強化され、オペレータは複雑なアーキテクチャのエッチレートと選択性に注意を払うことができます。最後に、ロードロックにより、ウェーハは処理サイクル全体にわたって安全にロックされたままになります。ONTRAK 2300 Exelan Flexエッチャー/アッシャーは、さまざまなデバイスレベルのプロセスアプリケーションで人気のある選択肢となるいくつかの利点を提供します。それは800°Cまで温度で作動でき、再現可能な正確さの重要な幾何学を作り出すことができます。エッチャー/アッシャーは、MEMS、 IO、マイクロ流体、およびIII-Vアプリケーションに最適な優れたエッチプロファイルを備えたさまざまな金属および合金を作成するために使用できます。エッチャー/アッシャーはまた、幅広い金属、誘電体の層、および誘電体スタックを堆積する能力を含む、コーティングとの柔軟性を提供します。最後に、Exelan Flexエッチャー/アッシャーは、市場で最も効率的なエッチャー/アッシャーの1つであり、品質を犠牲にすることなく大量のプロセスを可能にします。