中古 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9095928 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flexは、複雑な基板処理アプリケーションを可能にするように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。エッチャー/アッシャーは、高密度リアクティブイオンエッチング（RIE）とアッシュイン/アッシュアウト技術を組み合わせて、高い横分解能と選択性を必要とするアプリケーションで基板をパターン化およびマスキングします。ONTRAK 2300 Exelan Flexには、ナノレベルの精度と再現性を実現する可変圧力空気軸受ベースのモーションコントロール装置が搭載されています。また、エッチングとアッシングの両方に対応する高効率のマルチカスプ電子サイクロトロン共鳴（ECR）無線周波数（RF）ソースを備えています。このECRソースを使用すると、エッチプロファイルと選択性を正確に制御でき、サイクルタイムの短縮と一貫した結果につながります。また、エッチャー/アッシャーは、スピンドルドライブ自動基板処理システムを備えた最適化されたマルチゾーンロードロックを備えており、基板の信頼性と再現性を保証します。また、より高いスループットを実現するターボポンプベースの外付け真空ユニットも内蔵しています。さらに、LAM RESEARCH 2300 Exelan Flexは完全に自動化されるように設計されています。自動化されたプロセスレシピは、マルチチャンバーアッシュイン/アッシュアウトやRIEレシピなど、さまざまな基板やプロセスにプログラミングできます。ハードウェアとソフトウェアにより、既存のシステムやネットワークと容易に統合できます。全体として、2300 Exelan Flexは、さまざまな基板上で高精度ナノメータスケールのプロセスを必要とするアプリケーションのニーズを満たす高度な基板エッチャー/アッシャーです。可変圧力エアベアリングモーションコントロールマシン、最適化されたマルチゾーンロードロックおよびスピンドルドライブツール、およびターボポンプベースの外部真空アセットにより、非常に高速で正確で一貫した結果を提供します。洗練されたエッチングとアッシング処理を必要とするナノ加工アプリケーションに最適です。