中古 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9095927 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flexは、様々な材料のプラズマエッチングとアッシングを行うように設計された、高度で信頼性の高いエッチャーまたはアッシャーです。2300は、最大1000 μ mの均一な深さで、1。25mmx1。25mmのサンプルをエッチングおよびアッシングすることができます。エッチャーには、最大500°Cの温度制御、300mTorrまでの動的圧力制御が含まれています。また、TFT、 STN、 LCD、プリント回路基板など、幅広い基板を提供しています。すべての主要なテーピングシステムとの互換性により、自動化された処理とスループットの向上が可能です。さらに、2300は、アルゴン、ヘリウム、フロン、水素、プロピレンやエチレンなどの有機化合物などの幅広いガスを処理することができます。さらに、ウェーハの自動転送機能を備えており、ウェーハの効率的なロードとアンロードを可能にします。エッチャーは高度なモジュラー技術で構築され、優れた柔軟性と拡張性を実現します。グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）は、ユーザーフレンドリーな機能、操作、プログラミングを提供します。独自のComputer-In-Loop機能により、2300はコンピュータと通信して、レシピ、温度および圧力設定ポイント、プラズマ時間の量などの追加パラメータを受信できます。2300はまた、プラズマ条件を調整して異なるエッチングジョブのプラズマパラメータを最適化する高度なオートマッチング装置を備えています。この設計により、部品の洗浄や交換に便利なツールで、効率的なメンテナンスが可能になります。自動化されたウェーハ温度および圧力制御システムにより、最適なウェーハ品質を維持することができます。さらに、イオンポンプ、プラズマトラップ、真空排気バルブなどの安全対策で保護されています。さらにユニットを保護するために、2300には自動真空チャンバ排水機と漏れ検出センサーが含まれています。ONTRAK 2300 Exelan Flexは、高度で信頼性の高いエッチャーおよびアッシャーで、独自のモジュール設計と高度な機能により、優れた柔軟性と拡張性を提供します。効率的な操作、正確な結果、確実な安全性を提供し、さまざまな材料のエッチングとアッシングに最適な機械です。