中古 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9095926 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flexは、ウェーハの製造と技術開発のための高度なエッチング/アッシュ装置です。ONTRAKとLAM RESEARCH技術の組み合わせにより、このシステムはエッチング、アッシング、クリーニングプロセスのための強力なツールとなります。Exelan Flexユニットは、正確で繰り返し可能なエッチングとアッシングプロセスをサイクル時間を短縮しながら、高いレベルのプロセス柔軟性と信頼性を提供するように設計されています。この機械には2つの高圧イオンチャンバーが装備されており、高圧エッチングまたはアッシングの自動化、またはガスパルス変調による微調整エッチングが可能です。圧力範囲は100,000から1000 torrまで選択可能です。各チャンバの圧力は独立して調整および監視することができ、異なるプロセスを同じツールで同時に実行することができます。このアセットは、デュアルソース蒸気エッチング（DSV）用にも設定でき、標準的なエッチング/アッシングプロセスと大気圧アッシングプロセスを組み合わせることができます。Exelan Flexは、効果的で高エネルギーエッチングまたはアッシングのためのブロードバンドマイクロ波励起モデルを備えています。この装置は1。3〜13。4 GHzの広い周波数範囲で動作し、プロセス要件に応じて励起を調整および調整する柔軟性を提供します。また、高感度熱管理システムやGas Repose Automatic Control （GRAC）も搭載しており、チャンバー内の温度とガスの流れを正確に制御することができます。Exelan Flexは高度に統合されたマシンであり、追加のコンポーネントの必要性を減らし、柔軟で自己完結型のエッチングまたはアッシングツールを提供します。LAM RESEARCH/ONTRAKとONTRAKは、専門的なプロセス設計と資産統合サービスを提供し、ユーザーがモデルを独自の要件にカスタマイズできるようにします。装置に使用されるすべての部品は、品質と信頼性を確保するために広範囲にテストされているため、高精度のエッチングとアッシングプロセスに信頼性の高い選択肢となります。