中古 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9032660 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flexは、チップ生産に必要なウェーハのハイスループット処理用に設計されています。このエッチャー/アッシャーは、幅広い基板に優れたエッチング/アッシングを提供するために開発されました。このデバイスは、特許取得済みの高効率な温度制御プラズマプロセスを備えており、従来の加工方法よりも幅広いエッチングおよびアッシング要件を可能にします。また、ユーザーが特定のアプリケーションニーズに合わせて機器をカスタマイズできる高度にカスタマイズ可能でアップグレード可能なプラットフォームも付属しています。Exelan Flexは使いやすさと信頼性の高い操作のために設計されています。直感的なユーザーインターフェイスに対するオペレータの介入を最小限に抑える必要があります。オープンカセットローディングシステムとバッチプロセス用のツールをプログラミングする機能により、幅広いウェーハを迅速かつ正確に処理できます。また、リアルタイムでエラーを検出および修正することができ、スクラップレートを削減することができます。Exelan Flexは、統合されたマスフローコントローラや完全にプログラム可能なウェーハ転送ロボットなどの機能を備えており、プロセスガスや空圧真空を正確に制御できます。さらに、エッチングとアッシング性能を最適化するために、複数のプロセスパラメータを制御できる高度なプロセスコントローラを搭載しています。また、Exelan Flexは高精度のイメージングユニットを備えており、いつでもウェーハ全体を同時に表示できます。この強力なイメージングマシンは、エッチングとアッシングのプロセスを正確に制御するだけでなく、ウェーハ上のホットスポットやパターンを識別する能力を可能にし、生産作業中の歩留まりを改善し、損失を低減します。Exelan Flexは、最小限の化学薬品と溶剤で動作し、ビデオ表示端子（VDT）電球からの排出量を削減するため、環境に優しいエッチング/アッシングソリューションを提供しています。優れたパフォーマンス、柔軟なプラットフォーム、使いやすいインターフェイスを備えたONTRAK 2300 Exelan Flex etcher/asherは、あらゆるチップ生産ニーズに最適なソリューションです。