中古 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #78823 を販売中
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販売された
ID: 78823
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Etcher, 12"
Specifications:
Mainframe: 2300 ver 2.0 (4VPM)
(Qty 3) FOUP Loaders
(Qty 3) Hermos carrier ID
Light curtain for OHT
Status lamp (RYGB)
25-Slot input buffer station
Cable: TM-Subpanel, 100ft
TMLocal NSR: system backup software
(3) 2300 Exelan Flex CFE etch chambers:
PM1: 2007 vintage
PM2: 2007 vintage
PM3: 2007 vintage
Common Items (Qty 1 per chamber):
1600 L/S Edwards Turbo Pump
PMNSR6215: Dual Chiller Install Kit
PMNSR6496-1A (SEMI F47)
2300 Exelan FLEX Quick Clean Kit
2300 Exelan FLEX Pendulum Valve Kit
2300 Exelan FLEX Service Tool Kit
Gas Box: 16 Line Gas Box (IGS)
Software: 2nd HSMS (Fab comm.) Support
Qty 2: ESC, ASSY, DZ CLG, 2 FNSH, 12"
Electrical: 208VAC, 3 Phase, 50/60Hz
CE marked
2007 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flexはエッチング・アンド・アッシュ半導体加工装置です。リソグラフィやパターニング、エッチング、レジストストリッピング、アッシングなどで一般的に使用されています。このシステムはハイエンドモデルであり、幅広い温度、圧力、および時間にわたって均一で正確な処理結果を提供します。Exelan Flexは、ウェーハエッチング、誘電体および強磁性パターニング、プラズマエッチングなど、さまざまな用途向けに設計されています。ユニバーサルマイクロウェーブ(UWM)ジェネレータを使用して実行され、さまざまなプロセス機能とプロセスを提供します。これにより、ウェーハ上に高精度なパターンを作成することができます。Exelan Flexは、他の化学処理にも有効です。Exelan Flexは、正確な温度と圧力制御により、高い再現性と精度を提供します。これには、コンピュータベースのグラフィカルユーザーインターフェイスが含まれており、ユーザーはプロセスパラメータを作成して監視することができます。また、オートリピートプログラミング、リアルタイムグラフィックス、バッチ処理など、さまざまな高度な機能を備えています。このマシンはまた、化学管理機能を備えており、事前にプログラムされたレシピのサポート。Exelan Flexは非常に信頼性の高いツールで、優れたスループットと全体的なパフォーマンスを提供します。また、堅牢なデータ管理資産を備えた使いやすいユーザーインターフェイスも提供しています。このモデルには、排気装置やシステムアップグレードキットなどのアクセサリーも含まれており、ユーザーがユニットを最新の状態に保つのに役立ちます。最終的に、このエッチングおよび灰マシンは、事故を防ぐために設計された組み込みの安全機能を備え、最適な安全のために設計されています。このツールは信頼性が高く効率的で、ユーザーが正確なパターン、エッチング、灰を簡単に作成するのに役立ちます。ONTRAK 2300 Exelan Flexは、幅広いリソグラフィックおよびパターニングアプリケーションに最適です。
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