中古 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #293595651 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flexは、多様な微細加工アプリケーション向けに設計された強力で汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。シリコン、ヒ素ガリウム、石英、セラミックス、その他の複合材料など、さまざまな基板材料を処理することができるため、研究者、エンジニア、生産担当者にとって信頼性が高く、費用対効果の高いツールとなります。ONTRAK 2300 Exelan Flexは、単一の機器で最大限のプロセス柔軟性を提供するように設計されています。熱源、プラズマ源、UV源を組み合わせたタンデムチャンバー設計により、エッチング/アッシングプロセスを正確に制御します。汎用性の高いデュアルチャンバーシステムは、エッチング、アッシング、およびパッシベーションプロセスに使用でき、両方のチャンバーを個別に調整してさまざまな基板に対応できます。このユニットには、基板の効率的な積み下ろしと同時にプロセス制御を向上させるためのダイナミックウェハハンドリングユニットが内蔵されています。LAM RESEARCH 2300 Exelan Flexはまた、操作が特にユーザーフレンドリーで安全な洗練された制御と安全機能を提供します。このユニットは、プロセスの信頼性を最適化するための高速データ収集ツールを備えた包括的なプロセスモニタリングマシンとPID制御を使用しています。高められた安全装置は装置の損傷および人員の傷害の危険を減らし、それを微細な微細加工および医療機器の適用のための優秀な選択にします。2300 Exelan Flexは、使いやすいセットアップ、制御、および監視機能も備えています。制御ユニットは、不揮発性レシピの保存と、再現可能なプロセスのためのワンタッチ操作を可能にします。この資産には、リモート操作と監視のための統合されたコンピュータインターフェイスも付属しています。その合理化された設計のおかげで、LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flexは、医療機器の生産から高度な電子部品の生産まで、あらゆる微細加工アプリケーションのための効率的で費用対効果の高いエッチャー/アッシャーです。