中古 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #293595649 を販売中
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LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flexは、エッチングとエッチングのプロセスに関して最大限の柔軟性をユーザーに提供するように設計されたエッチャー/アッシャーです。汎用エッチングから高精度微細加工まで、幅広い用途に対応できるよう設計されています。その汎用性と信頼性の組み合わせは、多くのエッチングとアッシングのニーズに最適です。ONTRAK 2300 Exelan Flexは、統合されたコントローラ、電気アセンブリ、ウェーハカルーセル、シャワーヘッド、サイドウォールアセンブリで構成されています。堅牢なコントローラは、簡単な操作、パラメータ入力、およびステータス表示を提供するユーザーフレンドリーなグラフィカルディスプレイと直感的なコントロールパネルを介してシステムに電力を供給します。リレーとコンタクタを含む電気アセンブリは、動作中に適切な電力とプロセスレベルを保証します。ウェーハカルーセルは、プロセス室内外への移動用ウェーハを確実に保持し、洗練されたステンレス製のインテリアで構成されており、最適な清潔性と耐久性を実現しています。シャワーヘッドとサイドウォールアセンブリは、反応性イオンエッチング（RIE）、誘導結合プラズマエッチング（ICP）、アッシング、ストリッピングなど、多くのカスタマイズ可能なプロセスを提供します。シャワーヘッドはウェーハ全体の均一なエッチングを提供するように設計されていますが、サイドウォールアセンブリは選択的なエッチングを可能にし、プロセスチャンバー内のウェーハ位置を最適化することでエッチング時間を短縮することができます。このユニットは、高度なレシピ作成により、優れた再現性のあるエッチング結果を達成し、プロセスの監視と調整を可能にします。ウェーハの位置と圧力、室温と圧力、ガス流量、レシピ/バッチの処理時間など、さまざまなパラメータを分析することで、レシピのパフォーマンスを評価し、さらに最適化することができます。また、過圧、過電圧、温度監視システムなどの包括的な安全機能も備えています。LAM RESEARCH 2300 Exelan Flexは、最高品質の規格と仕様に設計および製造されており、多くのエッチングおよびアッシング関連のニーズに最適なソリューションです。包括的なハードウェアとソフトウェアの機能、信頼性、柔軟性を兼ね備えているため、さまざまな種類のエッチングおよびアッシングアプリケーションに最適です。
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