中古 LAM RESEARCH Main body for 2300 Exelan #293665646 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Exelanは、半導体製造のためのさまざまな材料を正確かつ一貫してエッチングするように設計された工業グレードのアッシャー（エッチャー）です。専用のステッピングモーターと基板ハンドリング装置を搭載し、素早く効率的に基板を独立して移動させると同時に、高いエッチング精度を維持します。LAM RESEARCH 2300 Exelanは、Windowsベースの高速デジタルコントローラを搭載しており、精密なエッチングと複雑なプロセスシーケンスを可能にします。このシステムは2つの独立したホットプレートを備えており、それぞれ500個までの基板を処理できます。これにより、複数のワークフローを同時に完了でき、スループットと効率が向上します。さらに、エンクロージャ内に収納されているのは、独立して制御されたデュアルチャンバーのプラズマ源であり、エネルギッシュなプラズマを提供して、チャンバーに残るガスを最小限に抑えてエッチプロファイルを作成します。LAM RESEARCH 2300 Exelanには直感的なユーザーインターフェイスが付属しており、直感的で直感的なタッチスクリーンディスプレイを介してすべてのプロセスパラメータに簡単にアクセスできます。さらに、このソフトウェアは、さまざまなLAM RESEARCH認定プログラムとの迅速かつ簡単な統合を可能にし、リモートマシンの監視と自動データ取得を可能にします。LAM RESEARCH 2300 Exelanは最高の安全のために設計されています。これは、緊急シャットダウンユニット、複数のインターロック、冗長圧力モニタなど、複数の独立した安全機能を備えています。また、高品質の構造は、電子ビームが常に正確な基板位置を指し示していることを確認するために、堅牢な振動絶縁と高度な冷却機を含みます。全体的に、LAM RESEARCH 2300 Exelanは、エンジニアの最小限の助けを借りて、さまざまな複雑な基板を迅速かつ正確にエッチングして処理するように設計されています。独立した基板処理ツール、デュアルチャンバープラズムソース、直感的なユーザーインターフェイス、および複数の安全機能を備えたLAM RESEARCH 2300 Exelanは、大規模な電子機器やコンポーネントのエッチングに最適です。