中古 LAM RESEARCH LF 4500 #9245075 を販売中

LAM RESEARCH LF 4500は、リアクティブイオンエッチング（RIE）およびアッシング操作に使用される高度なエッチング/アッシングツールです。このエッチャー/アッシャーは、幅広いRIEおよびアッシング用途向けに高度なプロセス柔軟性を備えた優れたパフォーマンスを提供します。LF 4500は、大きなロードロックを備えた高速プラズマチャンバー、高速で正確なレシピソフトウェアなど、堅牢な設計を特徴としています。このエッチャー/アッシャーにはマルチゾーンエンドポイント検出器が装備されており、迅速なチャンバークリーニングとより効率的なプロセスを可能にします。LAM RESEARCH LF 4500は、エッチングとアッシングの両方のプロセスを1つのツールで実行できます。LF4500とのエッチング操作は、SF6とO2ガス混合物を使用して行われます。エッチング速度は、使用されるプロセスと基板の種類に応じて調整可能です。LAM RESEARCH LF 4500は、変動の少ない高精度エッチングが可能です。LF 4500はまた急速なashingおよび高精度のステンレス鋼のasherの選択を含むashingプロセスの範囲を、提供します。このエッチャー/アッシャーは、フッ素有機物蒸気のホットタブを使用して化学的アッシングを実現します。この方法は、チャンバーの清浄度と一貫したプロセス結果の優れた制御を提供します。LAM RESEARCH LF 4500には、完全に統合された使いやすいレシピソフトウェアシステムがあります。このソフトウェアを使用すると、エッチング操作とアッシング操作の両方のレシピを迅速にプログラミングでき、目的のプロセス結果を簡単に達成できます。このシステムには、エッチングとアッシングをより大きな制御するための高度なプロセス制御機能も含まれています。全体的に、LF 4500は信頼性が高く、高度なエッチングおよびアッシングシステムです。強力なプロセス柔軟性、正確なエッチング速度、迅速なエッチングおよびアッシング操作を提供します。LAM RESEARCH LF 4500の高性能機能と使いやすいレシピソフトウェアにより、さまざまなトリミング、メタライゼーション、およびモスフェット/マスク開口処理アプリケーションの優れた結果を迅速かつ確実に達成できます。