中古 LAM RESEARCH Kiyo #9314591 を販売中

LAM RESEARCHキヨ・エッチャー/アッシャーは、薄膜の物理的除去や基材のエッチングに使用される装置です。半導体、積層膜、金属、複合材料などの精密加工が可能です。堅牢なプラットフォームにより、ユーザーは最高の生産歩留まり効率を維持しながら優れた結果を達成することができます。LAM RESEARCH Kiyoは完全に自動化されたセルフサーボ制御装置であり、完全なプロセス制御を提供します。このシステムは、エッチングプロセスパラメータを制御するためのソフトウェアインターフェースを備えており、オペレータの介入を最小限に抑えた高精度な結果を得ることができます。すべての関連パラメータは、単一の直感的なソフトウェアウィンドウで監視および調整されます。また、各種材料のエッチングを効率的に行える高性能エッチングチャンバーを搭載しています。チャンバーはステンレス製で、直径2インチまでの広い開放面積を備え、幅広いエッチングの可能性を提供します。裏面エッチングのリスクを低減するために、ウエハーの裏面を保護するためにガラス窓カバーを使用します。LAM RESEARCH Kiyoの高解像度イメージングユニットは、エッチングパターンの視認性に優れています。CCDカメラとLED照明を内蔵し、エッジ強化や自動画像認識などのユーザー設定可能な技術を備えています。従来のウェットエッチングに比べ、超高品質のエッチングが可能です。これは、正確で一貫したプロセスパラメータを提供するインテリジェント制御ツール、強力で高流量の乾燥真空ポンプ、および優れたエッチング性能を保証する大容量プラズマ源など、さまざまな技術的特徴によるものです。LAM RESEARCH Kiyoは、これらのすべての機能により、優れた精度と再現性を提供する、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスに最適な選択肢です。高品質のエッチングとアッシング性能を必要とするあらゆる加工要件に最適なソリューションです。