中古 LAM RESEARCH Kiyo #9282757 を販売中
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販売された
ID: 9282757
Poly etcher
(3) Chambers (PM2, 3, 4)
With microwave (PM1)
MF (EFEM / TM):
Platform type: V2
(3) BROOKS 002-7200-32 Load ports
BROOKS 138150 ATM Robot
BROOKS 401600-201-0002-FRU TM Robot
EDWARDS A419-42-212 IPump (Ontool pump)
(4) GE 605-109114-001 CPU
(4) LAM RESEARCH 810-099175-103 VIOP
(4) LAM RESEARCH 605-707109-001 Engenuities
WATLOW 778-900046-701 Temperature controller
(3) WATLOW 778-900046-301 Temperature controllers
(3) LAM RESEARCH 810-495659-006 ESC Power supplies
(3) OCEAN OPTICS 685-801852-002 OES
MKS VDMB-23398 VODM
ASTEX AX2630NRC3-Q Microwave source
(3) LAM RESEARCH 839-019090-328 ESC
IGS Gas box
Gas line:
(3) Gas 12 HORIBA Z300
(3) Gas 11 LAM RESEARCH 797-026724-303
(3) Gas 10 HORIBA Z300
(3) Gas 9 LAM RESEARCH 797-026724-508
(3) Gas 8 HORIBA Z300
(3) Gas 7 LAM RESEARCH 797-026724-509
(3) Gas 6 HORIBA Z300
(3) Gas 5 HORIBA Z300
(4) Gas 4 HORIBA Z300
(3) Gas 3
(3) Gas 2 LAM RESEARCH 797-026724-525
(3) Gas1 LAM RESEARCH 797-0267724-624
(3) MKS 649A-25014 He UPC
UNIT UFC1661 O2
UNIT UFC1661 N2
(3) MKS E28B-23747 Process guages
HPS 109070019-CE TM vacuum guage
(2) HASTING HPM 2002 OBE Air lock vacuum guages
(3) ADIXEN ATH2300M Turbo pumps
(3) ADIXEN ATH2300M Turbo pump controllers
(4) ADIXEN ADS1202H PM Dry pumps
(3) RATCHETC BCU-E320F1 Chillers
(3) AE 660-024637-026 BIAS RF Generators
(3) AE 660-900984-008 TCP RF Generators
(3) LAM RESEARCH 848-801420-017 BIAS RF Matchers
(3) LAM RESEARCH 853-800120-112 TCP RF Matchers
(3) LAM RESEARCH 834-030822-025 BIAS RF Cables
(3) LAM RESEARCH 834-030819-018 TCP RF Cables.
LAM RESEARCH Kiyoは、半導体ウェーハ製造などのアプリケーションに最適な、高効率で費用対効果の高いエッチング/アッシュ装置です。高効率の石英管プラズマ源を搭載し、従来の溶液よりも4倍の速度でエッチングを容易にし、再現性を向上させます。また、コンタミネーションコンディショニングを最小限に抑える革新的な設計により、コンタミネーションコントロールを向上させています。これにより、プロセスと粒子の両方の汚染の非常に低いレベルに達することができます。また、1つのシステムで複数のウェーハ処理ステップを実行できるため、工具のメンテナンスやサイクル時間の短縮による大幅なコスト削減が可能です。LAM RESEARCH Kiyoの直感的なユーザーインターフェースは、ウェーハ処理の速度と品質の向上に加えて、オペレータがユニットをプログラムして最適なパフォーマンスを得ることを容易にします。超精密な電圧・圧力制御、低温動作により高エッチングを実現します。様々な金属、ポリマー、ケイ化物から、炭化ケイ素や窒化物などのエッチングが困難な材料まで、幅広い材料を加工することができます。さらに、オンザフライのプログラマブルなレシピや自動レシピ転送などの機能により、生産ラインにシームレスに導入できます。このツールは高度な監視と診断機能も備えているため、ユーザーはエラーをすばやく特定して修正できます。全体として、LAM RESEARCH Kiyoは、業界をリードする機能を手頃な価格で提供する非常に高度なエッチング資産です。その直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスは、トレーニングを簡素化し、比類のない速度と品質により、短い生産サイクルと高品質の製品を必要とする組織にとって理想的なソリューションです。
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