中古 LAM RESEARCH Kiyo Poly #9353174 を販売中

LAM RESEARCH Kiyo Polyは、フォトレジストやポリマーフィルムの異方性エッチングに使用される先進的な異方性ドライエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、選択性、異方性エッチングプロファイル、優れた材料均一性を正確に制御できるように設計されています。この技術は、無線周波数（RF）と直流（DC）バイアス電源、プリセットレシピ、およびプロセスウェーハを収容する真空チャンバーを組み合わせています。Kiyo Polyは4 チャンバーDCエッチャーと5電極RFジェネレータを1台のコンパクトユニットに内蔵しています。このマシンは、フォトレジスト、ポリマーフィルム、さらにはカーボンナノチューブのサンプルの最適化されたエッチングを実現するために、さまざまなエッチングプロセスから抽出します。それは大きい区域に均等性の優秀な選択性そしてプロフィールを提供します。塩素（Cl2）、三フッ化窒素（NF3）、熱強化エチレンフッ化物（TEF）などのエッチングガスをエッチングし、エッチングする材料に応じて複数の組み合わせで使用します。加熱要素は、プロセス制御データ中に必要な温度レベルを生成するために使用され、オンボードプロセスコントローラによって自動的に監視されます。エッチング化学およびパラメータは、フルデジタルフィードバックループを使用してリアルタイムでパラメータを調整するエッチプロファイル監視ソフトウェアの助けを借りて管理および最適化されます。ツールのプロセスコントローラに保存されている事前にプログラムされたレシピは、さまざまな種類の材料の多目的エッチングを提供します。RFバイアスパワーとDCバイアスパワーを組み合わせたエッチングガスを使用して、フォトレジスト、ポリマー、その他の材料を電気化学的にエッチングすることで、正確なプロファイル制御と理想的なエッチング率を実現します。ユーザーはエッチングの選択性を定義することができ、サンプル材料の形状に合わせてレシピを調整することもできます。自動ウェーハローダーにより、アセットは複数の基板を同時に処理でき、優れた再現性、精度、一貫性が得られます。LAM RESEARCH Kiyo Polyは、半導体、太陽光発電、通信、医療などの幅広い産業に適した汎用性、費用対効果、信頼性の高いエッチャーです。その高度な機能と堅牢な設計により、優れた均一性、精度、再現性を備えたさまざまな基板をエッチングするための信頼性の高い選択肢となります。