中古 LAM RESEARCH KIYO FX #9311231 を販売中

LAM RESEARCH KIYO FX Plasma Etcher/Asherは、金属、半導体、ケイ素、誘電体、光学被覆材料など様々な表面の効率的かつ均一なプラズマエッチングおよび後処理を提供するために設計された統合プラズマエッチングおよび後処理システムです。KIYO FXには高出力RFジェネレータが搭載されており、市場の他のエッチャーよりも高い選択性と優れた表面処理を実現しています。LAM RESEARCH KIYO FXは、600×545×280 mmの大きなチャンバーサイズで、広範囲な用途に対応し、より大きなスタックや集積アレイのエッチングが可能です。コントローラは、エッチングプロセスの微調整を可能にする幅広いパラメータを備えた直感的なGUIを提供します。プラズマエッチャーは、最適なエッチプロファイルとウェーハの損傷を最小限に抑えるように設計されています。KIYO FXは、制御されたプラズマパラメータでウェハをエッチングし、レジストの仕様、材料の組み合わせ、プロセスパラメータに適合させることができます。また、より良いエッチプロファイルを確保するために、ウエハの裏側に圧力を適用するデュアルチャック設計が含まれています。LAM RESEARCH KIYO FXは、Ar、 O2、 N2、 C4F8などの様々なガスフローでエッチングすることができ、エッチング材料部分ごとにレシピを最適化しています。これらの機能はすべて、LAM RESEARCH KIYO FXを市場でより包括的なエッチングシステムの1つにしています。それはまた非常にユーザーフレンドリーで、顧客の特定のニーズに合わせて調整することができます。KIYO FXは、半導体業界の多くのエッチング用途に適した汎用性の高いプラットフォームです。堅牢な設計により、金属、誘電体、絶縁材、パッシベーション層など、幅広い商品を単一の実行でエッチングできます。このエッチングシステムは、効率的な温度制御、低いチャンバ圧力、および低い蒸着インターフェースを備えているため、エッチャーを優れた制御性と品質でエッチングすることができます。LAM RESEARCH KIYO FXエッチャーは、大きな部品のエッチングを可能にする高いデータレートを提供します。KIYO FXは、多種多様な表面のエッチングや後処理に最適なエッチャー/アッシャーです。堅牢な設計、直感的なユーザーインターフェイス、調整可能なパラメータ設定により、半導体業界のエッチング用途に最適です。