中古 LAM RESEARCH KIYO FX #293819375 を販売中

LAM RESEARCH KIYO FXは、世界中の半導体製造の要件を満たすために開発された高性能、高容量エッチャー/アッシャーソリューションです。このエッチングおよびアッシング装置は、半導体業界全体で使用されるさまざまなエッチングおよびエッチング/アッシングプロセスに業界をリードする性能を提供するために設計されています。KIYO FXは、異なるデジタル素材の複数層の低応力エッチング/アッシングを提供し、歩留まりと品質を向上させます。このシステムは、デジタルコントローラを使用して、時間の経過とともにエッチング/アッシュ処理の均一性を維持し、バッチからバッチへの一貫性を提供します。LAM RESEARCH KIYO FXには、高度なドライエッチング/アッシャーモジュールが搭載されており、エッチングとアッシングプロセスの両方において、スループットの向上とスループットの均一性の向上を実現します。エッチング/アッシング処理は、エッチングまたはアッシングされる特定の層と材料に合わせて調整されます。このユニットは、半導体アプリケーションで最大95％のエッチング速度と最大60％のアッシング速度を提供することができます。KIYO FXは、パワフルなエッチング/アッシングモジュールに加えて、エッチングやアッシングプロセスのパフォーマンスと効率を向上させる機能も多数搭載しています。LAM RESEARCH KIYO FXは、高精度の超高周波ジャイロスコープとクイル駆動を搭載し、エッチングやアッシング時のプラテンの正確な動きを提供します。この精度と制御の向上により、プロセスの均一性が大幅に向上し、各レイヤーが一貫してエッチングされ、アッシュされるようになります。KIYO FXには、機械が動作を開始する前に、特定のプロセスに最適なエッチング/アッシングパラメータを決定するためのカスタマイズされた測定ツールも含まれています。これは、エッチングとアッシングの前後でエッチングとアッシングの均一性を測定し、精度検証とプロセス最適化のためのデータを提供することによって行われます。LAM RESEARCH KIYO FXは、手動と自動化されたプロセスの両方のために設計され、操作のための多くのオプションを提供しています。このツールは、ユーザーが設定して保存することができるカスタマイズ可能なパラメトリックレシピのフルレンジで、自動化する機能を備えています。さらに、この資産には統合されたデータ収集とレポート作成プロセスもあり、プロセス結果を完全に評価できます。KIYO FXは、優れたスループットと均一性を提供するエッチングおよびアッシングモデルで、歩留まりの向上とプロセスの最適化を可能にします。LAM RESEARCH KIYO FXは、デジタルコントローラ、高度なエッチング/アッシングモジュール、プラテンの精密な動き、データ収集とレポートを活用し、多層デジタル材料を扱うファブリケーターのエッチャー/アッシャーに最適なソリューションを提供します。