中古 LAM RESEARCH KIYO FX #293791061 を販売中

LAM RESEARCH KIYO FXは、プラズマエッチンググループの最先端エッチング/アッシュ技術を基盤とした強力なエッチャー/アッシャーソリューションです。KIYO FXは、エッチングと灰のプロセス工程で高いスループット、クリーンで均一な結果を得るように設計されています。半導体ウェーハ基材エッチング、MEMS/NEMS/MOEMSデバイスエッチング、ナノリソグラフィー、フォトリソグラフィー、マスク等のパターニングなど、幅広いエッチングおよびアッシング用途に最適です。LAM RESEARCH KIYO FXは、高品質の表面と均一なエッチプロファイルを生成する革新的な低圧反応イオンエッチング（RIE）技術を備えています。この装置は、サブミクロンスケールでパターンや機能を生成することができるアクティブおよびパルスモードエッチングの両方を使用しています。KIYO FXには、マイクロ波プラズマ、低圧誘導結合プラズマ（ICP）、ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）など、さまざまなプロセス工具も含まれています。機能サイズやエッチングの均一性などの重要なパラメータのバッチ内およびバッチ間の変動の制御において、高い精度で中高レートのエッチング性能を発揮します。LAM RESEARCH KIYO FXは、自動化機能、温度制御、アプリケーション監視、プログラマブルデータロギングなど、さまざまなプロセス強化機能を備えています。塩素、酸素、アルゴンを含む当社の革新的なプロセスガスは、優れたエッチング性能を保証します。また、プロセス品質の最適化に役立つ高解像度ビジョンユニットと、圧力、流量、温度などの重要なプロセスパラメータを記録するデータロギングマシンを備えています。KIYO FXは、幅広い材料に適した高スループット、低圧エッチング、灰の性能を提供します。その堅牢で信頼性の高いプラットフォームは、誘電体フィルムから金属、さらにはタフな材料の組み合わせまで、複数の材料で動作することができ、高度な製造とデバイス製造のための理想的なエッチングソリューションです。