中古 LAM RESEARCH KIYO FX STRIP #9311232 を販売中

LAM RESEARCH KIYO FX STRIPは、小型フットプリントで精密エッチング/灰プロセスを提供する高度なエッチング/灰32ビット装置で、大量生産のイネーブルメント用途に最適です。フレキシブルなプラットフォームであるKIYO FX STRIPは、ディープエッチングおよび浅灰アプリケーション、誘電エッチングおよびBEOLプロセスに関連する要求の高まりに対応するように設計されています。最大のスループットとレシピ機能を提供し、多層エッチングとアッシュスケジューリング、高度なプロセスフローに使用でき、統合されたデバイス構造に関連する厳しい公差に対応できます。スケーラブルなレシピデータベースで構築されており、最先端の真空システム技術とプロセス制御機能を備えたLAMのSEMI-ES7のコンピュータ化された機器制御システムのベストを組み合わせています。LAM RESEARCH KIYO FX STRIPは、自動化されたプロセスエンドポイント検出器、自動ゾーン電源制御、プログラマブルプロセス時間制御、自動ウェーハ洗浄機能など、高度なプロセスアクセサリも備えています。低電圧電源は、低電圧での精密エッチングを保証し、エッチングプロセスの不規則性を防止します。また、ウェーハサイズにも対応しており、様々な用途に対応できるモジュラープラットフォームを備えています。KIYO FX STRIPには、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェースを備えた強力なプロセスビジュアライザがあり、オペレータがプロセスを監視および調整することができます。また、各実行の開始前にプロセスを分析して微調整できるレポート機能も備えています。プロセス監視、ハードウェアコンポーネントの監視、温度制御、自動プロセス制御などの機能により、プロセス変数の変更や効率的なプロセスサイクルへの迅速な応答が可能です。全体的に、LAM RESEARCH KIYO FX STRIPは、小さなフットプリントで精密エッチング/灰プロセスを提供する高度なエッチャー/アッシャーマシンです。自動化されたプロセス終点検出器のような有用なプロセス付属品の範囲を自慢します、 ゾーンの電力制御、およびウェーハウォッシュ、ならびに統合されたレポートおよびプロセスの視覚化機能、 それは深いエッチング、浅い灰、および誘電性エッチングおよびBEOLプロセスを提供します、 プロセス変数の変更やセットアップ時間の短縮に対する迅速な対応だけでなく、 それを大量の生産のイネーブルメントの適用のための理想的な解決にします。