中古 LAM RESEARCH Kiyo EXP #293642656 を販売中

LAM RESEARCH Kiyo EXPは、高密度プラズマ技術を使用して、生産環境で優れたプラズマエッチング性能を提供するエッチング/アッシャーです。このデバイスは、プラズマエッチング範囲が広い4つのRFソースを使用しており、Si、 SiO2、 SiN、 SiON、 GaN、 UVなど、さまざまな材料を正確かつ柔軟にエッチングできます。このデバイスはまた、精密プラズマ洗浄および沈着機能を備えているため、多くの生産および研究開発アプリケーションに最適です。Kiyo EXPのプラズマエッチングプロセスは、素材エッチング速度と特徴トポグラフィーを優れた制御で迅速かつ正確に処理します。この高精度エッチングにより、ディープミクロンの特徴を正確に制御することができます。また、LAM RESEARCH Kiyo EXPには、ウェーハ表面全体にエッチングガスを均一に分布させる先進的な装置を搭載し、均一なエッチング率とサイドウォール角を実現しています。Kiyo EXPの高度な自動化により、プロセス、材料、パラメータの適切な組み合わせがエッチングまたはクリーンなステップに使用されます。プロシージャごとに異なるプログラム、レシピ、および事前定義されたパラメータを保存でき、必要に応じて呼び出して使用できます。このデバイスは、デジタルI/O、自動チューニング、ウェーハの再指向などの追加機能も備えています。LAM RESEARCH Kiyo EXPの自動自己診断モニタリングシステムは、ユニットの健康状態と動作状態を継続的にチェックし、リアルタイムのプロセス最適化を可能にします。このマシンはまた、ユーザーにEthernetプロトコルサーバを介して安全なEthernetネットワーク経由でデータにリモートでアクセスする機能を提供します。Kiyo EXPは、生産および研究アプリケーションに最適な信頼性と効率性の高いエッチング/アッシュ・プラットフォームです。LAM RESEARCH Kiyo EXPは、高精度エッチング機能、柔軟性、セキュアなリモートデータアクセス、自動化された健康監視機能を備え、市場でも有数のプラズマエッチング/アッシュシステムです。