中古 LAM RESEARCH Kiyo EX #9358698 を販売中

LAM RESEARCH Kiyo EXは、産業、学術、研究の幅広い用途に最適な、コンパクトで自己完結型のエッチングソリューションです。このシステムの主な特徴は、精密なプロセス制御と再現性を提供する洗練された高速動作であり、ユーザーは再現性と信頼性の高い結果を達成することができます。Kiyo EX etcherは、大型液晶ディスプレイ、直感的なユーザーインターフェース、高度な温度とイオン化制御、厚さとエッチング率の測定など、直感的な操作機能でユーザーフレンドリーに設計されています。エッチャーはまた、250mmx250mmの最大基板サイズの大きな基板を収容するための大きなチャンバーを備えています。サンプル真空チャッカーを内蔵し、大型基板の取り扱いを可能にし、精度を向上させました。LAM RESEARCH Kiyo EXエッチャーは、さまざまなガス混合物やその他のプロセスパラメータを使用して、最適な結果を提供します。これは、精密に配合されたガス混合物の作成と配信を管理するためのオンボードガスミキサーが装備されており、ユーザーは、さまざまな特殊なエッチング技術のために複数のプロセス手順を採用することができます。エッチング媒体の自動レベリング、圧力・温度制御、イオン化・プロセスパラメータの精密制御、エッチング速度の高精度測定、基板・製品厚の測定など、エッチング工程全体を高度に制御します。LAM RESEARCH Kiyo EXエッチングには、ディープシリコンエッチング、広域パターンシリコンエッチング、表面合金、超清浄エッチングなど、さまざまなエッチング技術を使用できます。エッチャーはまた、プラズマエッチング、エキシマレーザパターニング、マスクアシストエッチングなど、多くのシングルウェハ技術をサポートしています。また、特許取得済みのウエハカセットリサイクルシステムを使用した化学物質の費用対効果の高い回収も可能です。使用済みエッチングメディアの廃棄を防ぐことで、コスト削減と生産性の向上を実現します。LAM RESEARCH Kiyo EXは、安心と信頼性を高めるための延長保証も提供しています。Kiyo EXは、さまざまな業界のエッチングおよび洗浄用途に最適なソリューションです。