中古 LAM RESEARCH Kiyo EX #9271254 を販売中
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LAM RESEARCH Kiyo EXは、重要なプロセスアプリケーション用に設計された高度なエッチングおよびアッシングツールです。エッチングおよびアッシング処理は、基板表面から材料を除去し、所定のパターンまたは構造を作成するために使用されます。KIYO EXは、現在のマイクロエレクトロニクスデバイスの厳しい要件を満たすために、高度なエッチングとアッシングプロセスを使用しています。シリコン(Si)、ガラス、金属、絶縁体など様々な基板や材料に、フォトレジスト材料の高精度エッチングとアッシングを提供します。LAM RESEARCH Kiyo EXは、基盤構造の劣化を最小限に抑え、最適な結果を実現する高精度エッチングおよびアッシングツールです。これは、エッチングとアッシング機能の様々なを提供しています。例えば、マスク層をエッチングし、リアクティブイオンエッチング(RIE)などのより複雑なプロセスを実行するために使用できます。KIYO EXは、パターニングトランジスタ、トレンチ、ビア用のケミカルエッチングも提供しています。さらに、このツールは、基板を損傷することなく、フォトレジストを正確かつ効率的にアッシングすることができます。LAM RESEARCH Kiyo EXは、利用可能なすべてのエッチングとアッシングのレシピを最適化するインテリジェントソフトウェアを使用しています。また、一貫性と正確性を確保するために使用される高度なプロセスコントロールも含まれています。Kiyo EXのソフトウェアは高度にカスタマイズ可能で、アプリケーションに最適なパラメータを選択できます。さらに、LAM RESEARCH Kiyo EXでは、高度なモニタリング、診断、制御システムを使用して、最高品質のエッチングおよびアッシングプロセスを保証しています。システムには、リアルタイムプロセスモニタリングだけでなく、障害検出、分離、解像度機能も含まれています。これにより、ユーザーは、迅速かつ効率的に発生する可能性のある問題をトラブルシューティングすることができます。結論として、Kiyo EXは重要なプロセスアプリケーション向けに設計された高度なエッチングおよびアッシングツールです。精密なエッチングとアッシングプロセスだけでなく、今日のマイクロエレクトロニクスデバイスのニーズを満たすためのインテリジェントでカスタマイズ可能なソフトウェアも提供しています。さらに、高度な監視および制御システムを使用して最適な結果を得ることができます。
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