中古 LAM RESEARCH Kiyo EX #9270879 を販売中

LAM RESEARCH Kiyo EXは、半導体業界に合わせたエッチャー/アッシャーです。Silicon、 Gallium Arsenide、 SoI（シリコンオンインシュレータ）ウェーハなどの各種材料をエッチング・アッシングする際に優れた結果を得ることができる高性能ツールです。パワフルでユーザーフレンドリーなコントローラが付属しており、エッチングとアッシュプロセスの制御に完全な柔軟性を提供します。プロセスパラメータは調整可能で、高い精度と精度を提供します。また、低kおよびIII-Vデバイスの製造にも最適です。Kiyo EXは、強力なプラズマ源、エッチングチャンバー、ウェハマッピングテーブルなど、いくつかのサブシステムで構成されています。プラズマ源は、金属イオンの信頼性、均一性、効果的な供給を提供し、ウェーハ表面の均一なエッチングを担当しています。エッチングチャンバーは、シャワーヘッド、循環ポンプ、拒絶輸送などのいくつかのコンポーネントで構成されています。このエッチングチャンバーは、均一な深さと層エッチングを提供するように設計されています。ウェーハマッピングテーブルは、エッチングするウェーハの位置と整列に使用されます。これにより、エッチングプロセスの精度と再現性が保証されます。LAM RESEARCH Kiyo EXは、HFベースの化学、Cl2-based化学、HBrベースの化学などのエッチング化学、および均一なエッチングを容易にするためのさまざまなバックグラウンドガスを提供しています。また、ウェーハ表面にイオンとエネルギーを正確に堆積することができる複数のプラズマ発電機が装備されています。Kiyo EXには様々なアクセサリーやアドオンモジュールがあり、高度なエッチングやアッシング操作に最適です。直径2インチから200mmまでの基板加工が可能な汎用性の高い工具です。LAM RESEARCH Kiyo EXには、潜在的な損傷からツールを保護するインターロックやガスセンシングなどの安全機能もあります。業界標準のエッチングおよびアッシング用途向けに、さまざまな業界のバッチエッチングおよびアッシング操作に最適です。その汎用性と精度により、Kiyo EXはあらゆるエッチングおよびアッシング処理に最適なツールです。