中古 LAM RESEARCH Kiyo EX #293630220 を販売中

LAM RESEARCH Kiyo EXは、高いスループット、低メンテナンス、および費用対効果の高い材料加工を提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャーツールです。独自のデュアルチャンバーアーキテクチャにより、バッチエッチングとアッシャープロセスごとに低コストで提供できます。デュアルチャンバーアーキテクチャは、独立したガス処理を可能にし、同時にエッチングとアッシャー機能または独立したウェハハンドリングを可能にします。強力なソースレベルのパルスエレクトロニクスとプロセス制御ソフトウェアにより、エッチングおよびアッシャーパラメータをタイトなプロセス余白で正確に制御できます。Kiyo EXは、高いスループット、均一性、再現性を実現しています。3-4ウェーハ/分の高出力率と300mmまでの加工可能なウェーハのサイズは業界で比類のないものです。デュアルチャンバーアーキテクチャにより、上流または下流の他のツールと連携してウェハハンドリングや非常に複雑なプロセスを行うことができます。ソースレベルのパルスエレクトロニクスは、レシピのトレーサビリティと正確なプロセスシミュレーションにより、精密なプロセス制御を可能にします。コントローラにはWindows CEオペレーティング機器が搭載されており、さまざまなパラメータを制御し、ガスの種類、チャンバー圧力、ウェーハ速度、ウェーハ温度およびその他のプロセス変数を含むレシピパラメータを設定することができます。LAM RESEARCH Kiyo EXは、高いプロセス安全性を確保するアクティブパージシステムなどの高度な安全性と環境保護機能も備えています。その高度な監視および制御システムは、機械のコンプライアンスを確実にするためにチェックする自己診断ユニットと、ガス処理用の安全インターロックスイッチを内蔵しています。アクティブフラッシング機能と低レベル排気フロー制御ツールを組み合わせることで、LEFやパッシベーションなどの敏感なプロセスで安全な環境を維持することができます。全体的にKiyo EXは、コスト効率の高いハイスループットエッチングとアッシャープロセスを実現する優れた機能を提供します。デュアルチャンバーアーキテクチャ、高度なプロセス制御、安全機能により、エッチングおよびアッシャーのアプリケーションに最適です。幅広い用途で、実質的にあらゆる産業や研究材料の加工要件に最適なツールです。