中古 LAM RESEARCH Inova #293662993 を販売中

LAM RESEARCH Inovaは、セラミック、ポリマー基板、ガラスの高効率で正確なエッチングを提供するために設計されたエッチャー/アッシャーです。Inovaは、ウェーハの薄型化、誘電層エッチング、レーザー掘削、リアクティブイオンエッチング（RIE）などのアプリケーション向けの主要なドライエッチング機です。200mmから150mm、 2インチから6インチまで、さまざまなウェーハサイズに対応するように設計されています。LAM RESEARCH Inovaは、エッチングレートを正確に制御し、高度なエッチングプロセスでより高い収率を提供するように設計されています。Inovaは、産業レベルの機能を備えた高度なエッチャーです。LAM RESEARCH Inovaは、さまざまなプロセスのためのさまざまなツールを装備することができます。ウエハーを処理するための完全自動ロボットシステムを備えています。高レートエッチングを可能にするプラズマソースモジュールも付属しています。Inovaは、ステッピングモータ、金属スピンドル、およびさまざまなイメージングおよび計測システムなどの他のツールコンポーネントと統合することもできます。LAM RESEARCH Inovaは、エッチングプロセス全体にわたって正確な温度制御と圧力制御を提供します。これは、正確なエッチング結果を確保するのに役立ちます。さらに、Inovaはプロセスガス制御のフルレンジも提供しています。このガススペクトル制御は、さまざまなアプリケーションに柔軟性を提供します。LAM RESEARCH Inovaは、基板やプロセス汚染に対処する際にも堅牢に設計されています。Inovaには、高速ターンアラウンドタイムを可能にするオプションの高精度ローディングおよびアンローディングステーションが含まれています。LAM RESEARCH Inovaは、エッチングプロセスの品質と信頼性を確保するために、リモートで自動化および監視することもできます。エッチャーは、半導体製造、MEMS製造、太陽電池製造など、さまざまな用途や業界で使用することができます。Inovaは、多くのエッチングプロセスで一貫した反復可能なパフォーマンスを提供する高度なツールです。この信頼性の高い正確な機械は、より高い歩留まりとより良い結果を保証するように設計されています。さらに、LAM RESEARCH Inovaは、柔軟性と制御性を提供するオールインワンエッチングシステムです。これらの機能により、Inovaはさまざまなアプリケーションに最適なツールとなります。