中古 LAM RESEARCH Inova #293610307 を販売中

LAM RESEARCH Inovaは、LAM RESEARCH Corporationが開発した高度なエッチャー/アッシャーです。この最先端のエッチャー/アッシャーは、高いスループット、精度、信頼性を提供するように設計されています。Inovaの高度な機能には、低温予算のエッチングプロファイルを生成する低電圧基板エッチング、優れたエッチング選択性を達成するための高密度プラズマ（HDP）エッチング、および精密な表面変更を保証するための総ウェーハ表面カバレッジ・エッチングが含まれます。LAM RESEARCH Inovaは柔軟性を念頭に置いて設計されており、さまざまなアプリケーションに幅広いエッチングパラメータを設定できます。これには、ガスミックス比を調整し、所望のエッチング性能を達成するために圧力、電力、温度を調整する機能が含まれます。さらに、Inovaの高度なソフトウェアコントロールパッケージにより、ユーザーはエッチプロセスをカスタマイズして最適化するだけでなく、エッチング結果をリアルタイムで監視および分析することができます。LAM RESEARCH Inovaは、バッチ処理とシングルウェーハ処理の両方をサポートし、330mmウェーハ処理が可能です。エッチングチャンバーは液体窒素を使用して冷却され、均一なエッチングプロセスを確保し、均一なプロファイルに優れた冷却を提供します。また、安定したエッチング環境を維持するように設計された自動圧力制御システムを備えた圧力制御エッチングチャンバーを備えています。さらに、Inovaには高度なリモート診断システムが搭載されており、リモートサポートが強化されています。LAM RESEARCH Inovaは、酸化物ストリッピング、フォトレジストエッチング、ハードマスクエッチングなどのエッチング用途で優れた性能を提供します。さらに、さまざまな材料をエッチングするだけでなく、異なるフィルムスタックに対応するように設計されています。これにより、Inovaは半導体、MEMS、 MEMC業界の幅広いエッチング用途に最適です。要するに、LAM RESEARCH Inovaは、高速で正確で信頼性の高いエッチング性能を実現するために設計された高度なエッチング/アッシャーです。この洗練されたエッチツールは完全に囲まれ、制御されたエッチング環境を提供し、カスタマイズされたパフォーマンスのための高度なソフトウェアコントロールパッケージを備えています。また、バッチ処理とシングルウェーハ処理をサポートし、330mmウェーハ処理が可能で、さまざまな業界のエッチング用途に最適です。