中古 LAM RESEARCH Inova #293610306 を販売中

LAM RESEARCH Inovaは、特定のエッチングおよびアッシングプロセス用に設計されたモジュラーエッチング/アッシングシステムです。これは、すべての標準的なエッチングプロセスを超え、最適化された精度を提供することができる超安定性プラットフォームです。Inovaは、最適なエッチング深度、解像度の向上、汚染の最小化を実現し、信頼性と耐久性に優れたパフォーマンスを提供します。LAM RESEARCH Inovaには、200 sccmの高性能ガス源（He、 Ar、 N2、 O2）、 2つの石英反応チャンバー、2つの自動サンプルホルダーが装備されています。また、信頼性の高い源泉洗浄機能を備えており、化学溶剤の必要性を低減する高流量の水浴を統合しています。Inovaは、エッチング制御の精度と柔軟性を高めた、革新的なエッチング予測コントローラとソフトウェアを備えています。エッチング予測コントローラは、エッチング速度を継続的に監視し、プロセスパラメータを調整して精度を高めます。これにより、より高い収率が得られ、廃棄物や基材の損傷を軽減できます。標準のLAM RESEARCH Inovaモジュールにはマルチトリガシステムも搭載されており、1サイクルで最大5つの独立したエッチングプロセスを起動できます。これにより、高スループットを必要とする複雑なエッチング/アッシングアプリケーションに最適です。オプションのCollimated Ion Beam Assist （CIBA）機能により、時間重大サンプル分析プロセス（SAP）のイオンフラックスを優れた制御が可能になります。高度なエッチング技術に加えて、Inovaは包括的な安全機能を提供します。これらには、アコースティックキャビネット、イオントラップ、イオンチャンバー、および複数の取入口と排気フランジなどの機能があり、システムを清潔で安全に動作させるのに役立ちます。全体として、LAM RESEARCH Inovaはエッチングとアッシングにおいて比類のないパフォーマンスを提供します。高度なエッチング予測コントローラと包括的な安全機能により、ユーザーは独自のエッチング/アッシングソリューションを作成し、特定のニーズに対応できます。