中古 LAM RESEARCH Inova next #9144982 を販売中

LAM RESEARCH Inova nextは、半導体デバイスの製造に使用される高度なエッチャー/アッシャーです。エッチング工程を精密に制御できるエレクトロケミカルエッチング技術で、複雑な垂直構造の加工が可能です。これは、デバイス製造における誘電層、金属トラック、および高度なミクロンレベル構造をエッチングするための費用対効果が高く信頼性の高いソリューションです。Inovaは、ウェットケミカル、ストリームエッチング、リアクティブイオンエッチング（RIE）、先進の異方性エッチング技術など、幅広いエッチングプロセスを特長としています。エッチャーは、直径150mmまでのウェーハに対応できます。特殊なリング形状の高アスペクト比チャンバーを備えており、深いミクロンレベルの構造に最適なエッチング性能を提供します。LAM RESEARCH Inovaの次の機能は、プロセス制御とレシピ開発をエッチングするための使いやすいソフトウェアスイートです。エッチング結果の優れた再現性と均一性を維持し、最適なエッチング温度を提供します。また、温度マッピング、圧力レギュレーション、ガスの流れ、送り速度や材料の監視などの半導体プロセス制御もサポートしています。エッチャー/アッシャーは、エッチング結果の高速チューニングと高解像度イメージングを可能にする高度な光学システムを備えています。正確なプロファイリングシステムを搭載し、エッチングの深さと構造幅を監視し、最適なエッチング結果を得ることができます。Inovaの次は、ユーザーフレンドリーで信頼性の高いです。このシステムには数多くの安全機能があり、現在の環境規制に準拠しています。エッチャー/アッシャーは幅広い材料に対応できるため、チップメーカーは高スループットで複雑な構造を開発することができます。LAM RESEARCH Inova nextは、チップ製造用に特別に設計された高度で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。強力なプロセス制御と高度なエッチング技術により、精度と均一性を備えた高品質の構造を実現しています。このシステムはユーザーフレンドリーで費用対効果が高く、最新の環境規制に準拠しています。