中古 LAM RESEARCH IGS #9157986 を販売中

LAM RESEARCH IGS （Integrated Geometry Equipment）は、ウェーハ加工用に設計されたエッチング/アッシュ成膜システムです。複数のエッチング/アッシング技術を1つのプラットフォームで組み合わせ、高度なパターン化レイヤーを作成します。高度なプロセス制御により、重要なアプリケーションの材料の均一性と再現性が保証されます。IGSプラットフォームには、堆積物のパターン密度とプロファイルの変化を検索し、レイヤー精度を確保するためのプロセス調整を行うACPIオートプロファイル制御が装備されています。また、密度の高い粒子またはプロセスチャンバーの下部付近の領域でエッチング処理を停止するバックグラウンドエンハンスメントユニットも含まれています。これらの予防メンテナンス機能は、エッチング精度を最適化し、材料の均一性を確保します。LAM RESEARCH IGSマシンは、マルチステップエッチング用にも設計されています。複数のチャンバパスで複合エッチングを行うことができ、材料の量が少ない複雑なパターンを作成できます。また、複雑な設計または不均一な精度を必要とするエッチング手順を検出して切断する機能を備えており、使用時間を最小限に抑えます。より大きなアプリケーションでは、IGSをLAM RESEARCH SMO （Sentry Monitor Oasis）またはELS-A （Edge Lead Strip Automation）システムと組み合わせることができます。これらの自動化されたシステムにより、ユーザーはレイヤーインクルージョンと除外を適用して、デバイスの統合要件と高度なソースと設計に対応できます。LAM RESEARCH IGSはまた、プロセスのトレーサビリティを提供し、オペレータは顧客の仕様を満たすためにデータ駆動のワークフロー手順をカスタマイズすることができます。この機能を通じて、ユーザーは生産記録、収量、傾向、および環境データを追跡することができます。IGSは経済的で信頼性の高いエッチング/アッシング機能を提供し、さまざまな重要なウエハアプリケーションの高度なパターニングおよび蒸着プロセスを容易にし、デバイスの統合を成功させます。高度な自動化機能、プロセス制御機能、データ駆動型トレーサビリティツールにより、貴重な設計ツールとなります。