中古 LAM RESEARCH Flex GX #9261810 を販売中

LAM RESEARCH FLEX GXは、半導体、MEMS、および関連産業向けに特別に設計された精密エッチング/アッシュ装置です。このシステムは、再現性とカスタマイズ性に優れたプロセス性能を発揮し、手動および離散プロセスに比べて大幅なスループット向上を実現します。FLEX GXユニットは、信頼性の高い低周波、高精度、高性能ドライバと特許取得済みの強制空冷機を備えており、一貫した工具温度を維持します。このツールには、特許取得済みのデュアルアブレーションヘッドも含まれており、2つのコンポーネントを一度にエッチングできます。2つ目のアブレーションヘッドは、エッチング速度が大幅に向上し、エッチング時間が短縮されるため、より大型で複雑なコンポーネントに最適です。LAM RESEARCH FLEX GXアセットは、精度、再現性、およびスループットを最適化するように設計されています。ダイレクトビジョンイメージングモデルを採用し、ミクロンレベルの精度と再現性を実現する高度な手法を採用しています。ビジョン装置を使用することで、エッチング/灰処理の前に材料表面を特性化する便利で正確な方法を提供します。FLEX GXシステムは高度なプロセス制御も提供しており、ユーザーは生産性とツールのパフォーマンスを向上させることができます。このユニットは、半導体デバイス製造、MEMSデバイス製造、光学デバイス製造、および複雑なパッケージングなどのアプリケーションに適しています。金、銅、アルミニウム、チタン、その他の非金属のエッチングも可能です。多彩なエッチング加工が可能で、成形材料の制御と精度を向上させます。精度、再現性、スループット能力を兼ね備えたLAM RESEARCH FLEX GXツールは、半導体業界のエッチング/アッシング要件に最適なソリューションです。アセットの汎用性と柔軟性により、幅広いASM、リソグラフィ、エッチング/アッシングプロセスに適しています。このモデルは、最高レベルのプロセス制御を要求する業界向けに、堅牢で信頼性の高いエッチング/アッシングソリューションを提供します。