中古 LAM RESEARCH Flex Fx #9311093 を販売中

LAM RESEARCH Flex Fxは、ポリイミド、酸化物、金属、ガラスなどの柔軟な基板用に設計された高度なマルチステージエッチャー/アッシャーです。独自の設計により、ユーザーは単一のチャンバーを使用してAl、 Ga、 Siなどのさまざまな材料をエッチングおよび/またはアッシャーすることができます。Flex Fxにはマルチゾーンプラズマソースが装備されており、エッチングまたはアッシングの種類を独立して制御するだけでなく、エッチング/アッシング電圧、電流およびガス化学の精密な調整と調整が可能です。LAM RESEARCH Flex Fxには、重要なパターン登録とアライメントのための自動「SmartMow」システムもあります。Flex Fxは、統合された2ゾーンの熱処理機能を備えています。バイパス冷却機能が付加された加熱ゾーンは、最大20°C/秒の温度ランプ速度を達成し、高速エッチングや基板のオリエンテーリングなどのタイムクリティカルなプロセスを可能にします。極めて高速な冷却速度により、複数の蒸着プロセスを迅速に実行できます。ユーザーは、特定のプロセス要件のランプレートをオーバーライドすることもできます。LAM RESEARCH Flex Fxには、サンプルが均一で高品質なエッチング/アッシング結果を提供し、電力の合理的で均一な分布にさらされることを保証するために、さまざまな充電リミッターがあります。また、LCDパネルによって監視され、信頼性の高い性能を実現する、フィールドに依存した高度なガス分配システムを備えています。Flex Fxには、直感的でグラフィカルなユーザーインターフェイスを含む包括的なソフトウェアパッケージが付属しています。ユーザーはコントロールユニットをプログラムしてカスタムレシピを実行でき、オートメーション機能によりエッチングとアッシングプロセスを自動的に切り替えることができます。LAM RESEARCH Flex Fxは複数のネットワークプロトコルシステムとも互換性があり、他の自動化された機器とシームレスに統合できます。結論として、Flex Fxは柔軟な基板上で高品質な結果を出すための高度なマルチステージエッチャー/アッシャーです。その高度な機能により、エッチング/アッシュパラメータを正確に制御でき、組み込みのオートメーション機能により、迅速なプロセススイッチングと迅速なスループットを実現します。