中古 LAM RESEARCH Flex Fx #9270876 を販売中

LAM RESEARCH Flex Fx（エッチャー/アッシャー）は、半導体産業のアッシングおよびエッチング機能において一歩前進しています。コンパクトなフットプリントと複数の構成により、さまざまな統合シナリオに最適です。Flex Fxは、リソグラフィの正確な最適化と高度なデバイス形成のために不可欠なタイトなプロセスと温度制御を維持しながら、エッチングおよび酸化物の層の均一性のために設計されています。LAM RESEARCH Flex Fxは、大量生産用に特別に設計されており、幅広いHF化学製品で比類のないスループットを提供します。エッチャー/アッシャーのソース電源は、ロードロックと固定の両方のインストール構成で利用でき、さまざまなタイプの基板の高い柔軟性を可能にします。強力なRFジェネレータは、精密なプロセスチューニングのための非常に効率的なプラズマ制御を提供します。N2/O2/Heのガスリングは均一で堅いプロセス制御を提供します。クローズドループ型のガスソースシステムは、安定した圧力バランスとガスの流れを維持し、安定したプロセス結果を保証します。Flex Fxには最大6つの8インチウェーハをサポートする大型クリアビューチャンバーが付属しており、最大の処理効率を実現します。特別に設計されたトッププロテクションリングは、より良い信頼性と再現性のためにチャンバーの上部を遮蔽するのに役立ちます。このユニットには、プロセスの柔軟性と再現性を追加する2つのオプションのCoolPASデリバリーシステムも装備しています。LAM RESEARCH Flex Fxは、今日の要求の厳しい半導体プロジェクトに必要な速度と精度で信頼性と再現性の高いプロセスを提供します。堅牢なビルドとハイエンド機能により、あらゆる開発環境や本番環境に最適です。