中古 LAM RESEARCH FLEX FX EFEM #9270875 を販売中

LAM RESEARCH FLEX FX EFEMは、精密エッチングおよびその他の関連アプリケーション向けに設計された最先端のエッチングおよびアッシング装置です。パワフルな先進設計により、高アスペクト比エッチング、サーマルナノエッチング、プラズマナノエッチングなど、さまざまな用途に最適なプロセスツールです。これには、プロセスの再現性を向上させるための統合された真空アシスト機能が含まれています。FLEX FX EFEMプラットフォームは、今日の高度なエッチングおよびアッシングアプリケーションの要件に対応するように特別に設計されています。LAM RESEARCH FLEX FX EFEMの高度な設計は、高いエッチング特性比、広い領域、高い再現性を備えたタイトな画像登録精度を幅広く処理できます。また、強力なクローズドループ制御システムを備えており、プロセス要件を満たすか超過するためのプロセスパラメータを継続的に監視および維持します。これにより、ユニットは最高水準のパフォーマンスを達成することができます。FLEX FX EFEMには、エッチングツールとプロセスが搭載されています。金属、セラミックス、絶縁体から有機材料、半導体材料まで多層材料があります。この幅広い素材を使用することで、異なるウエハを柔軟に加工することができ、毎回高い精度を実現することができます。さらに、機械の高度な設計は、保護および洗浄システムを統合して、可能な限り最高のエッチングおよびアッシングプロセスに適した環境を保証します。LAM RESEARCH FLEX FX EFEMには、独自の要件を満たす他の特殊機能も含まれています。特許取得済みのプラズマラインおよびグリッド角度分布は、最高レベルのエッチング精度と再現性のためにプラズマ反応性を最適化します。また、プロセスパラメータを高度に制御するためのユーザー定義の設定入力を備えた高度なプロセス制御も備えています。全体として、FLEX FX EFEMは、ハイエンドの機能と機能を備えた高度なエッチングおよびアッシングツールです。その強力な設計と材料の複数の層は、ユーザーが正確かつ反復可能な結果を保証して、異なるウェーハをエッチングすることができます。オンボードの保護およびクリーニングシステムは、高品質のプロセス環境を保証しますが、プロセス制御および特殊機能は、プロセス全体の制御を提供し、最高レベルのエッチングとアッシングの精度と再現性を保証します。