中古 LAM RESEARCH FLEX FX EFEM #9270663 を販売中

LAM RESEARCH FLEX FX EFEMは、精密で信頼性の高い処理を可能にするように設計された高性能、大面積エッチャー/アッシャーです。高速、低慣性ステージを備えた多軸クローズドループ動作装置を備えており、高いスループット処理と反復可能な結果による柔軟な動作を可能にします。このシステム独自の設計により、幅広いターゲットに対応し、サイクルタイムを短縮できます。FLEX FX EFEMには、マルチゾーンガスパネルと2つのチャンバーアイソレーションゲートバルブが付属しており、高速かつ正確なエッチングとアッシングを可能にします。低圧無線周波数（LP-RF）発電機を搭載したプラズマ源は、ガス種と相互作用する磁場を生成し、プラズマを生成します。このプラズマは、ターゲット基板の表面から有機物や無機物を除去または変更するために使用されます。このユニットには、異なるエッチングおよびアッシングゾーン間の材料変化を測定できる高解像度のin-situモニターも付属しています。このモニターはオンウェーハ分光法に基づいており、プロセスの進行状況をリアルタイムでフィードバックすることができます。さらに、フォワードビューイング光学カメラマシンは、ターゲット上の基板の正確な転送とアライメントを確保するために、基板の状態をチェックします。プロセスチャンバーには、エッチングとアッシングの両方に対応する包括的なレシピと、優れた均一性制御ツールが含まれています。LAM RESEARCH FLEX FX EFEMは、可変チャンバおよびステージ圧力制御、およびエッチングおよびアシャーズチェンバーの両方に高度な温度制御アセットを提供し、さまざまな材料に最適な条件を提供します。FLEX FX EFEMは、高速、高精度、再現可能な動作により、コストを削減し、製造スケジュールを短縮するための強力なツールです。クローズドループのモーションコントロールモデルと包括的なレシピライブラリにより、プロセスを最適化して慎重に監視し、歩留まりを増やし、エラーを減らすことができます。高度に構成可能な設計と高度な制御機能を備えたLAM RESEARCH FLEX FX EFEMは、エッチングまたは灰処理アプリケーションに最適なツールです。