中古 LAM RESEARCH Flex FS #9284287 を販売中

LAM RESEARCH Flex FS Asher （Etcher）は、エッチングとクリーンなフォトレジスト、一般レジスト、ポリマー、その他の薄膜堆積物を効率的に除去するように設計された、高度で柔軟なエッチングおよびクリーニング装置です。新しいシステムは、優れた問題と機能保証により、納期とプロセスの再現性を大幅に短縮するように設計されています。特許取得済みの設計により、時間の経過とともに改善と維持が可能な破片とプロセスのパフォーマンスを最小限に抑え、最高レベルのスループットとツール使用率を実現します。Flex FS Asherは、優れた均一性とプロセスの一貫性を提供するデュアルドライブモータ設計を規定しています。このユニットは、高度なin-situリアルタイムプロファイル監視を可能にする独自の高解像度高密度イメージングマシンと統合されています。その他の機能としては、高度な電流レベル制御、高効率の磁気コンプレッサ、沈着、エッチング、および高速蒸着および洗浄のためのオンボード制御、自動サンプリングなどがあります。LAM RESEARCH Flex FSの明確に定義されたモジュラーアーキテクチャは、必要に応じて拡張された化学およびプロセスにアップグレードする機能を備えており、お客様に柔軟性を提供します。最先端の設計のためにカスタマイズすることができるツールの提供。Flex FS Asherのユニークなアセットアーキテクトは、最高レベルのスループットと信頼性を実現する高効率、信頼性、再現性の高いプロセスを可能にします。LAM RESEARCHモデルは、少ないステップで多くの複雑なエッチングレシピを実行できるため、その柔軟性は製造コストの削減にも役立ちます。組み込みのモニタリングにより、プロセスの均一性を迅速に分析し、結果を比較し、製造プロセスの初期段階で潜在的な問題を特定することができます。LAM RESEARCH Flex FS Asherは、パルス設計を最適化することにより、基板への損傷を最小限に抑え、静的充電の影響を最小限に抑え、プロセスバリエーションを低減し、レシピ駆動の高電圧パルスプラズマで洗浄を改善します。この装置は、フォトレジスト、ポリマー、およびその他のフィルムを取り除くように設計されています。Flex FSプラズマシステムは、過酷なケミカルバスや高圧洗浄の必要性を排除し、時間とリソースを節約します。LAM RESEARCH Flex FSは、高度なデバイスの高速かつ費用対効果の高い処理のための最も厳しい要件を満たすように設計された高度なエッチングユニットです。エッチング工程を合理化し、市場投入までの時間を短縮し、高いレベルの均一性を提供することで、最適な歩留まりと市場投入までの時間に合わせてデバイス生産を最適化します。