中古 LAM RESEARCH FLEX DS #9358667 を販売中

LAM RESEARCH FLEX DSは、さまざまなニーズに対応するように設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。機械は非常にモジュール式で、ほとんどの種類の化学との互換性を含む顧客の正確なニーズに合わせて調整することができます。高度なデュアルステージエッチングを採用し、プロファイルコントロールに優れた精密エッチングとアッシング機能を提供します。このシステムは高スループットで設計されており、優れた汎用性とモジュール性を提供します。フロントエンドには、マテリアルハンドリングチャンバーと最適化されたウェーハローディングシステムを内蔵し、最大の負荷生産性を確保します。フレームとコンタクトの両方で動作し、出力パレットの複数の構成、標準パレットおよびカセットサイズとの互換性を可能にします。バックエンドには、エッチングとアッシング技術の包括的な範囲を提供しています。ケミカルプロセスチャンバー、プラテンヒーターツール、有害廃棄物用チャンバー、ベンチュリ真空ポンプ、プロセスコントロールユニット、高度なガス制御システム、および他のいくつかの重要なプロセス制御機能。アセットにはレシピの完全なライブラリも含まれており、ユーザーは正確なプロセスニーズに合わせてエッチングとアッシングパラメータをカスタマイズできます。レシピはカテゴリに分類されているため、ユーザーは特定のニーズに最適なレシピをすばやく見つけることができます。FLEX DSも安全性を考慮して設計されています。これには、オペレータの安全を確保するために、リモートで監視されたプロセス監視などの洗練された安全機能が含まれています。さらに、このモデルには、安全でクリーンな環境を維持するために、目に見えるサンプリングポートが含まれており、グローバルな労働者安全法に準拠して動作するように設計されています。LAM RESEARCH FLEX DSは、幅広い用途に適した高度なエッチャー/アッシャー装置です。優れた汎用性、精密エッチング/アッシング、高スループット、包括的なレシピライブラリを提供します。また、安全性を念頭に設計され、洗練された安全機能で構築されています。