中古 LAM RESEARCH FLEX DS #9270877 を販売中

LAM RESEARCH FLEX DSは、高度なプロセス統合とユーザーの柔軟性のために設計されたエッチャー/アッシャーです。この装置は、シリコン、ガラス、石英、金属などの基板上に重要で高品質の構造を作成するための革新的で経済的なソリューションです。FLEX DSには最先端のチャンバー設計が採用されており、使用する基板と望ましい結果に基づいて、ユーザーが特定のニーズに合わせてプロセスレシピを調整できるため、厳格なプロセス制御と最大限の柔軟性を提供します。このシステムには5次元のin-situプロセス制御ユニットが装備されており、プロセスが正しく実行され、一貫性のある結果が得られることを保証します。エッチングとアッシングプロセスの優れた均一性は、精密な寸法制御をもたらし、ユーザーに品質と再現性の理想的なバランスを提供します。圧力安定性とチャンバー清浄性も確保されているため、長期的で信頼性の高いクリーンなプロセス結果が得られます。この強力で経済的なエッチャー/アッシャーは、高度なクォーツシャワーヘッド、5アークシャッターマシン、および高度な超高信頼性の真空ポンプを含む高品位のコンポーネントから構成されています。真空ポンプの性能は、正確なプロセス制御を確保し、ポンプ寿命を最適化するために監視されます。LAM RESEARCH FLEX DSは、迅速な実行時間と優れたウェハローディング機能も提供します。このツールを使用すると、温度を上下させることができるため、柔軟な生産スケジューリングが可能になります。さらに、FLEX DSには交換可能なチャンバーがあり、必要に応じて交換することができます。これらの強力な機能を組み合わせることで、LAM RESEARCH FLEX DSはあらゆるエッチングやアッシング用途に最適なソリューションとなります。FLEX DSは、安全性と使いやすさを念頭に設計されています。このアセットには、エンクローズドエッチング/アッシングチャンバー、光学の焦点を自動的に監視するオートフォーカスモデル、および自動安全機能と直感的なオペレータ制御を提供するように設計されたプログラマブルロジック制御（PLC）が含まれています。要約すると、LAM RESEARCH FLEX DSはパワフルで経済的なエッチャー/アッシャーで、高速な実行時間と精密なプロセス制御を提供します。この装置は、エッチングとアッシングを必要とするすべてのアプリケーションを処理するように設計されており、必要に応じて柔軟なソリューションを提供します。安全機能、ユーザーフレンドリーな設計、および交換可能なチャンバーにより、FLEX DSは基板のエッチングまたはアッシングを必要とするプロジェクトにとって効率的で信頼性の高い選択肢となります。