中古 LAM RESEARCH FLEX DS #293642664 を販売中

LAM RESEARCH FLEX DSは、材料、半導体、およびMEMS （Micro Electro-Mechanical Systems）の研究開発におけるユーザーのための完全な機能と機能を提供する高度なアッシャー/エッチャー装置です。革新的な設計により、FLEX DSは、高いスループット、低い所有コスト、および改善されたプロセス制御により、制御された信頼性の高いエッチング/アッシングプロセスを実現できます。LAM RESEARCH FLEX DSは、IC指紋エッチング、複数のエッチングチャンバー、ローカル/リモート処理などの高度な技術を活用して、ラボ環境に簡単に統合し、業界をリードするプロセス自動化を体験できます。このシステムの柔軟な設計により、ディープエッチング、ウェットエッチング、サーマルエッチング、電気化学エッチング、化学蒸気エッチング、または選択材料エッチングのいずれであっても、複数のエッチングチャンバーを組み合わせて適切なプロセスにマッチさせることができます。これにより、ユーザーは所望の活性化エネルギーを得ることができ、目的のプロセスの精度と効率を向上させることができます。FLEX DS ETCH PROCESSは、エッチングのタイミング、温度、圧力、電源制御において、比類のない精度と柔軟性を提供します。また、直感的で使いやすいプロセスユーザーインターフェイスも提供しています。このユニットは、コイル、フォーム、オープンセルメッシュ、カーボンファイバー格子、SiCなどのさまざまなエッチング媒体をサポートすることもできます。これにより、手作業による処理が不要になり、プロセス制御が向上します。さらに、LAM RESEARCH FLEX DSマシンは、汎用性とコンパクト性を両立するように設計されています。CO2、 X-RAY、イオンビームなどの複数のビームタイプに対応し、ウェーハサイズも異なります。その小さなフットプリントにより、このツールは任意のラボ環境に簡単に収まることができ、最小限のフットプリントで生産的な処理を可能にします。最後に、FLEX DSプラットフォームには、最先端の診断およびプロセス監視ツールが装備されています。これには、温度と圧力のモニタリング、複数の画像キャプチャおよびキャプチャユニット、およびTEC-moteソフトウェアが含まれます。これらの機能により、研究者はエッチングとアッシングのプロセスを測定、監視、分析することができます。全体として、LAM RESEARCH FLEX DSは、材料、半導体、およびMEMS産業の研究者にとって理想的なプラットフォームです。FLEX DSは、高度な機能、最先端のテクノロジー、直感的なユーザーインターフェースを統合することで、エッチング/アッシングプロセスの精度と制御を向上させることができます。