中古 LAM RESEARCH FLEX DS #293636663 を販売中

LAM RESEARCH FLEX DSは、半導体やその他の先進産業でマイクロストラクチャーやその他の複雑な構造を作成するために使用される高度なエッチャー/アッシャツールです。このツールは、プロファイルの作成とプロファイルのメンテナンスの両方において、プロセスの均一性を提供します。FLEX DSは、高いスループットとプロセス精度で複数のエッチングまたはアッシングプロセスを同時に実行する機能を備えています。このツールは、マルチチャンバー構成の熱CVDおよびプラズマエッチング/アッシング技術と、高い均一性とプロセスの一貫性を実現する単一のウェーハ伝達機構を組み合わせています。LAM RESEARCH FLEX DSには、15インチのオープンロード、デュアル・ミニコンストリクション・トランスポート・システムがあり、高スループットを実現します。また、統合された真空システムとマルチチャンバーアーキテクチャを備えており、各レイヤーまたは機能の要件に基づいてプログラム可能なレシピでマルチパスエッチングを可能にします。高い選択性が必要なアプリケーションでは、オプションのVHFチャンバを使用してプラズマ品質を向上させ、機能エッチングの選択性を向上させます。FLEX DSには、精密な分析と自動化されたプロセス制御のための最新のリアルタイムデータ取得および制御システムも装備されています。これには、4つのポケットマスフローコントローラ、クワッドまたは8進数のPhoton Deposition露光システム、およびプロセスのガス供給と監視が含まれます。また、強力なオートメーションツールを備えたオペレーティング環境も備えており、レイヤごとの自動制御とプロセスの一貫性を提供します。LAM RESEARCH FLEX DSシステムは、さまざまなアプリケーションの特定のニーズを満たすために、いくつかのサイズと構成で利用できます。そのプロセス技術は、高い歩留まりと均一性のためのパターン化と成膜の最も要求の厳しい要件を満たすように設計されています。FLEX DSシステムは、複数の産業レベルの生産プロセスに統合されており、信頼性の高い再現性の高いデバイス製造用の高収率ソリューションをお客様に提供します。