中古 LAM RESEARCH FLEX DS #293628303 を販売中

LAM RESEARCH FLEX DSは、LAM RESEARCHが開発した完全統合マルチプロセスエッチャー/アッシャー装置です。エッチング、アッシング、クリーニング、ストリッピング、表面処理など、さまざまなプロセスを実行できる高度なシステムです。このユニットは安全性と生産性を考慮して設計されており、スループットを最大化し、ダウンタイムを最小限に抑えるシンプルなアーキテクチャを採用しています。機械は3つのモジュラー部品から成っています：プロセスモジュール、火力工具およびコントローラー。プロセスモジュールは、メインチャンバーとバッファチャンバーの2つのチャンバで構成されています。メインチャンバーには、複数のプロセスガス、電力、および真空ポートが取り付けられており、ウェーハの積み降ろしに使用されます。また、ガス供給資産とプロセス無線周波数（RF）電源を収容しています。バッファチャンバーは熱制御を使用して、最適な温度の均一性とプロセスの均一性を実現します。AC/DC発電機とソリッドステート制御の高電圧スイッチングモジュールで構成された火力モデルは、エッチングおよびアッシングプロセスに必要な電源を提供する責任があります。電圧サージやその他の電気的異常から機器を保護しながら、一貫した出力電圧と周波数を保証します。コントローラモジュールには直感的なタッチスクリーンコントロールパネルが装備されており、オペレータはプロセスガスフロー、RF電源、チャンバー条件、温度/圧力設定を監視および調整できます。また、データの記録とレビューのための内蔵データベース、異なるプロセスの要求のためのレシピのライブラリも含まれています。さらに、レシピ管理、機械やツールの診断、システム制御などの追加機能のライブラリも提供しています。FLEX DSは、Siウェーハ、フラットパネルディスプレイ、3Dプリント部品など、さまざまな基板上でエッチングおよびアッシング処理を行うことができます。また、最大プロセスの均一性と清潔性を保証する真空モニタリングユニットも含まれています。このマシンは、プロセスの再現性と柔軟性を最大限に高め、メンテナンスとセットアップにかかる時間を短縮するように設計されています。