中古 LAM RESEARCH Flex 45DD #9011013 を販売中

LAM RESEARCH Flex 45DDは、さまざまな生産ニーズに対応するように設計されたエッチャー/アッシャーです。ウェーハボンディング、表面フィルム加工、酸化エッチングなどの半導体ウェーハ加工に最適です。PECVDチャンバーを備えているため、ウェーハ上に二酸化ケイ素と窒化ケイ素を結合させることができます。また、より正確なパターンおよび定義された特徴のための反応イオンエッチング（RIE）を実行することができます。Flex 45DDの柔軟な設計により、柔軟性、連続性、バッチ、クラスタツール、絶縁アッシャーアプリケーションなど、幅広い生産設定で使用できます。LAM RESEARCH Flex 45DDは、最大15,000個のウエハの生産エリアを利用しており、最大スループットは毎時380個です。このエッチャー/アッシャーは、独立したフローコントロールバルブを備えたユニバーサルPECVDチャンバを備えており、ガスの流れ、圧力、および温度を正確に制御できます。また、調整可能な温度と圧力設定、調整可能なギャップ制御、ウェーハ回転、レシピ駆動の自動チューニングモードを備えたプログラム可能なウェーハハンドリング装置も含まれています。これにより、さまざまな基板やウエハータイプの精密な加工が可能になります。さらに、Flex 45DDは幅広い検査および計測システムと互換性があり、エッチングおよび蒸着プロセスの正確な測定を提供します。LAM RESEARCH Flex 45DDは、設計機能と統合されたシステム保護機能により、信頼性が高く安全に使用できます。高度に統合された制御ユニットには、多数の診断および安全機能が組み込まれており、プロセスを自動化し、機械が工場の安全規制に準拠していることを保証します。また、真空チャンバーには、運転中の事故を防止するためのオーバーヘッドクリアランスと安全インターロックシステムが内蔵されています。さらに、最適な生産性能を確保するために、レーザーアブレーションチャンバー洗浄アセットが採用されています。内蔵システムは、停電や過負荷による長期的な損傷からツールとユーザーの両方を保護します。結論として、Flex 45DDは、半導体ウェーハ処理に最適な信頼性と効率の高いエッチャー/アッシャーです。柔軟な設計、PECVD機能、調整可能なギャップコントロール、ウェーハ回転、自動チューニングモードにより、さまざまな基板およびウェーハタイプを迅速かつ正確に処理できます。また、ツールの効率的かつ安全な操作を保証するために、多数の組み込みの安全機能を備えています。