中古 LAM RESEARCH Flex 45 #9379094 を販売中

LAM RESEARCH Flex 45は、高性能プラズマエッチングおよびアッシング用途向けに設計された高品質エッチャー/アッシャーです。この装置は3。2メートルの部屋が装備され、45 cmの六角形のプラテンがあります。最高のスループットを提供し、最大負荷40基板、各基板間の10cmの距離、深さ18層までのマルチステップエッチング/灰レシピ機能を備えています。Flex 45はまた、優れた均一性と機能定義制御を提供しますが、非常に信頼性が高く経済的な価格です。このシステムには、RF/DC/DC反応イオンエッチング（RIE）など、いくつかの高度なプラズマプロセスが装備されています。これは、最大18層の再現可能な定義済みフィーチャー定義を備えた高度なエッチングおよびアッシュプロファイル用に設計されています。RIEで使用されるプラズマ源は、不動態化効果を最小限に抑え、良好な均一性を可能にするプレイオナイザーを備えた2段階の2周波数RFソースです。さらに、このユニットは、優れたエッチングおよびアッシュプロファイルを達成するために、機械に動的周波数チューニングおよびパルス機能を提供します。LAM RESEARCH Flex 45には、高度なパターン表面の高品質な洗浄を可能にする、現場での洗浄能力も強化されています。これには、チャンバーウォールコーティングおよび非調整保護、および窒素ベースの粒子およびガス相エッチングが含まれます。このツールは、優れた性能と高品質の結果を保証するために、現場洗浄、チャンバーウォールベーキング、スパッタリングなどの幅広いプロセスも可能です。Flex 45は、非常に信頼性の高いエッチャー/アッシャーであり、超高精度と精度が可能で、非常に再現性の高い結果が得られます。資産は操作の容易さのためのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が付いている4"が装備されています。防塵・防塵キャビネットに収納されており、保護と安全性を高めています。また、ウェブ上でのリモートサポートとアクセスのためのリモートモニタリングモデルも装備されています。この機器はまた、最大限の稼働時間と安心を確保するための包括的なサービスとサポートプログラムに支えられています。