中古 LAM RESEARCH Flex 45 #9358689 を販売中

LAM RESEARCH Flex 45は、完全に統合されたプラズマエッチングおよびウェットエッチング技術により、高精度で正確なエッチャー/アッシャー装置です。この高性能ツールは、半導体、MEMS、太陽電池など、さまざまな材料に最適なエッチング処理をサポートするように設計されています。強力なシングルウェーハレベルの自動ウェーハ処理機能を備えているため、1つのウェーハに複数のエッチング手順を設定することができ、高スループットを実現します。Flex 45は、クリティカルジオメトリの配置精度に優れているため、プロセスを厳密に制御できます。この精度は、高精度で信頼性の高いウェーハ転送システムと高度な電極ポジショナを組み合わせて実現し、非常に正確なアブレーションプロファイルを提供します。さらに、LAM RESEARCH Flex 45にはさまざまな収差補正ツールが搭載されており、エッチプロファイルの制御を最適化できます。Flex 45には、高密度の酸素プラズマを生成できるデュアルステージのパルスDCプラズマ発生器が搭載されており、高密度プラズマエッチングとウェットエッチングの両方に使用できます。また、幅広いエッチングケミストリーを提供し、ウェハペースの自動エッチング機能を備えているため、大量生産に適しています。操作のしやすさに関しては、LAM RESEARCH Flex 45のユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、エッチングプロセスの設定、監視、分析およびプロセスの最適化のためのデータ収集が非常に簡単になります。さらに、このツールはリアルタイムでデータを定期的に監視および評価し、最適化されたプロセス結果を容易にします。Flex 45は、全周のエレクトロメカニカルアライメント機能を介して非常に大きなジオメトリをエッチングすることができ、ユーザーに最大限の柔軟性を提供します。また、高精度な垂直アライメントを実現する高度なビジョンマシンを搭載し、最小の機能でも高精度なエッチングが可能です。全体として、LAM RESEARCH Flex 45は、エッチングおよびウェットエッチング用途に使用される強力で汎用性の高いツールで、高精度と高スループットを提供します。半導体、MEMS、太陽電池など多くの産業に最適です。