中古 LAM RESEARCH Flex 45 #9358687 を販売中

LAM RESEARCH Flex 45は、主に半導体製造用に設計されたエッチングおよびアッシング機です。シリコンや化合物半導体からアルミニウム、金まで、さまざまな材料をエッチングすることができます。そのユニークなデザインは、熱源と複数の真空チャンバーを備えており、直径8インチまでの任意のサイズのウェーハを処理できます。Flex 45はまた、エッチング速度、選択性を制御する機能を備えており、高い精度を実現しています。LAM RESEARCH Flex 45は、RFバイアスやプロセスガス制御などのプロセス手順のシーケンスを自動的にシーケンスするモーションコントロールシステムによって駆動されます。また、各プロセスチャンバーにおける基板の均一な負荷を確保するために、自動ウェーハのプリアライメントも提供されています。このマシンはまた、レシピ開発とオペレータ制御のための独自のソフトウェアパッケージとインタフェースされています。半導体ウェーハのエッチングは非常に複雑で繊細なプロセスであり、エッチングパラメータを正確に制御する必要があります。理想的な条件を達成するには、温度、電力、ガス流量を正確に制御する必要があります。Flex 45は、RFエネルギー、マグネトロンスパッタリング、プラズマエッチングなど、信頼性の高い十分にテストされたさまざまな技術を採用しています。さらに、ディファレンシャル・プレッシャー・センサー（DIPS）を内蔵しており、エッチング・プロセス条件を正確に監視します。LAM RESEARCH Flex 45は、シリコンウエハーや、シリコンゲルマニウムやガリウムヒ素などの化合物半導体をエッチングすることができます。アルミニウムや金などの硬質金属のエッチングにも使用できます。Flex 45のプロセスモジュールは、さまざまなプロセスモジュールと容易に統合できるように設計されており、エッチングプロセスをカスタマイズするための高いレベルの柔軟性を実現しています。LAM RESEARCH Flex 45は、最高品質のエッチングを可能な限り効率的なコストで実現することを目標に、性能を考慮して設計されています。機械は、業界の最高水準に従って、安全性と環境保護を念頭に置いて構築されています。Flex 45はエッチングおよびアッシングシステムに最適で、エッチングプロセスを正確に制御し、カスタムレシピの柔軟性を提供します。