中古 LAM RESEARCH Flex 45 #9358666 を販売中

LAM RESEARCH Flex 45は、成膜、エッチング、平面化、接触露出などの幅広い用途向けに設計された高度なエッチャーおよびアッシャーソリューションです。これは、最大12インチと最大4ウェーハの基板に対応できる強力で堅牢なプラットフォームです。Flex 45は、プラズマExpression™技術を使用して、絶対欠陥のない動作で理想的なエッチングとアッシング性能と再現性を実現します。また、最新の安全機能を搭載し、プロセスとオペレータの安全性を向上させています。LAM RESEARCH Flex 45は、高信頼性性能と生産効率のために設計されており、パフォーマンスと生産性を向上させるための幅広いオプションを備えています。高度なコントローラを備えており、動的なプロセス制御を備えたリアルタイムプロセスの最適化と統合を提供します。プロセスガス制御システムは、裏面基板加熱が可能で、システム間で容易に転送できる幅広いプロセスレシピとプロファイルをサポートします。また、最大4基板を同時に搬送できる自動ウェハハンドリングマシンを搭載しています。Flex 45の内蔵オートメーション技術により、エッチングおよびアッシングプロセスの再現性も保証されます。また、LAM RESEARCH Flex 45は、温度測定と均一性制御のための7センサーアレイを備えた二重構造のプラズマリアクターを備えています。これにより、プラズマパラメータを自動的に調整し、プラズマの均一性をリアルタイムで評価することができます。Flex 45には、高度な安全インターロックツールも付属しています。これには、複数のレベルの安全および緊急制御、高圧マイクロ波発電機制御および緊急停止が含まれています。生産性の面では、LAM RESEARCH Flex 45は、スループットを向上させるための高効率ウェーハ転送アセットと、プロセス検証とリアルタイムでの最適化のための自動データロギングモデルを備えています。この機器には独自のRecipe Optimization™ （RO™）技術も含まれており、ユーザーはプロセス品質を犠牲にすることなく、最適なプロセスレシピをすばやく特定し、スループットを最大化することができます。全体として、Flex 45は、高信頼性性能と生産効率のために設計された高度なエッチャーおよびアッシャーソリューションです。リアルタイムデータ収集機能を備えた高度なコントローラ、温度調子と均一性制御のための7センサーアレイを備えた二重壁プラズマリアクター、およびスループットを向上させる自動ウェハハンドリングシステムを備えています。さらに、LAM RESEARCH Flex 45には、最適なプロセスレシピを確保し、スループットを最大化するためのレシピ最適化技術と、プロセスとオペレータの安全性を向上させるための包括的な安全インターロックユニットと緊急シャットオフが含まれています。