中古 LAM RESEARCH Flex 45 #9358663 を販売中

LAM RESEARCH Flex 45は、半導体産業のために設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。デュアルソースのプラズマ装置を備えており、ウェーハ上の材料の最適な堆積を可能にします。このシステムは完全に自動化されたシステムで、ウェーハの急速な変更を可能にするロードロックと、長時間の生産中にプロセスチャンバーをクリーンに保つ自動フラッシュを内蔵しています。Flex 45は、精密制御された赤外線センサーと高度な制御ソフトウェアを使用して、処理環境を正確に監視します。LAM RESEARCH Flex 45は、200pTorrの圧力で設定された0。85m2の内部を持つプロセスチャンバーを備えています。また、高度なRFマッチングネットワークとソフトウェアコントロールを使用して、各プロセスレシピに最適なRF電力を正確に調整します。これにより、プロセスの安定性と再現性が非常に高くなり、プラズマの均一性が向上し、プラズマによって引き起こされる低周波ノイズが向上します。Flex 45は、最高水準の品質と信頼性を実現するように設計されています。E-Stop Safety Interlockなどの高度な安全機能を搭載し、緊急シャットダウン後の自動復旧、および外部および内部のインターロックシステムの完全なスイートを備えています。その予測的な健康モニタリングは、中断のない生産も保証します。LAM RESEARCH Flex 45は、高性能で高効率なガス分配サブシステムも備えています。最大4つのガス源を同時にサポートすることができ、ウェーハあたりのガス消費量が低くなるように設計されています。これは、強力なガス分配ネットワークと独自のガス分散ユニットを使用して、粒子生成を削減し、プロセス純度を維持します。Flex 45にはレシピマネージャーマシンも含まれており、ユーザーはデータベース内のレシピを管理、保存、分析し、プロセスステップの構成に使用できます。これは、ツールの使用率を向上させ、ツールの稼働時間を維持するのに役立ちます。最後に、LAM RESEARCH Flex 45は、顧客サービスと満足へのLAM RESEARCHの献身に裏付けられています。それはカスタマーサポートサービスのフルレンジによって支えられ、1年の保証と来ます。要するに、Flex 45はエッチングとアッシングのニーズに最適です。