中古 LAM RESEARCH Flex 45 #9358660 を販売中

LAM RESEARCH Flex 45エッチャー/アッシャーは、さまざまな基板の化学的またはプラズマエッチングおよびアッシングのための高性能ツールです。それは多目的で、費用効果が大きいエッチングおよびashing解決、速度で、高スループットのエッチングおよびashingのような適用の範囲にとって理想的です；低温のエッチングおよびashing；そして堅い許容のエッチングおよびashing。Flex 45は、最も複雑なエッチングおよびアッシング要求に対応する完全自動プロセス制御を備えた統合RFジェネレータを備えています。また、高度なエッチング/アッシュ選択機能を備えているため、プロセスを微調整でき、スループットを犠牲にすることなくパフォーマンスを向上させることができます。LAM RESEARCH Flex 45はまた、お客様のプロセスの柔軟性と効率性の両方を最適化するように設計された完全に改装されたサブシステムを提供します。Flex 45には、開放型の大型チャンバーが装備されており、最大6インチの基板を取り扱うことができます。自動化されたプロセス制御システムにより、電力や基板温度などのエッチング/アッシュパラメータを正確に制御し、最高のパフォーマンスを実現します。さらに、LAM RESEARCH Flex 45は、すべてのプロセスを監視および監視する高度な診断機能を備えており、プロセス制御と優れた再現性と安定性を実現します。Flex 45は、酸化物、窒化物、金属などのエッチング/アッシング化学物質を幅広く提供しています。窒化ケイ素、二酸化ケイ素、アルミニウムなど幅広い基板にエッチング/アッシングが可能です。LAM RESEARCH Flex 45は、信頼性と再現性を兼ね備えた設計で、最適なパフォーマンスを保証する優れたプロセス制御を提供します。最後に、その小さなフットプリントは、それが簡単に任意の実験室や製造施設に収まることができます。