中古 LAM RESEARCH Flex 45 #9351460 を販売中

LAM RESEARCH Flex 45は、大規模な生産および小型ダイサイズ用に特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。洗練されたデザインと革新的な機能により、高エッチング率、低ディフェクトレートを提供し、歩留まりを向上させることができます。Flex 45の高度な技術は、絶えず変化する生産ラインの要件に迅速かつ効率的に対応するオペレータの能力を向上させます。この装置の垂直設計により、オペレータはツイントーチとベースプレートの間の距離を簡単に変更することができ、ウェーハのエッチングとアッシングの程度を最大限に制御しながら、ウェーハ周囲の温度を制御してダイのエッジへの損傷を防ぐことができます。さらに、LAM RESEARCH Flex 45では、エッチガスの圧力と温度を正確に制御することができます。Flex 45エッチャー/アッシャーはマルチプラテンカセットシステムを備えており、ウェーハの同時エッチングとアッシングを可能にし、スループットを向上させ、サイクル時間を短縮します。その複数のRFコイルは、高温水晶チューブに統合され、信頼性の高いプラズマエッチング性能のためのデジタルチューニングを可能にします。エッチングには、エッチャー/アッシャーの安全な操作を可能にするいくつかの機能も含まれています。温度プローブやCO2起爆制御バルブを内蔵し、安全な動作を保証します。LAM RESEARCH Flex 45エッチャー/アッシャーは、ほとんどのシステムレイアウトと量産環境に適合するように設計されています。省スペース設計により、あらゆる生産ラインに汎用性を付加し、最高の性能と信頼性を提供します。人間工学に基づいたオペレータステーションは簡単な操作とメンテナンスを可能にし、LCDはリアルタイムの顧客に最新のエッチングとアッシャーパラメータを提供します。柔軟性を高めるため、複数のプロセス機能を追加するなど、ハードウェアのアップグレードも可能です。Flex 45は、最高品質のエッチングとアッシング性能を提供するように設計されていますが、高度なユーザーインターフェイス（UI）により、ユーザーは結果をすばやく確認し、必要なプロセス調整を行うことができます。LAM RESEARCH Flex 45は、高度なエンジニアリング、信頼性の高い操作、柔軟な設計により、大規模な生産および小型ダイサイズに最適なソリューションです。