中古 LAM RESEARCH Flex 45 #9351376 を販売中

LAM RESEARCH Flex 45は、さまざまなプラズマクリーニング、エッチング、アッシング要件を満たすように設計された柔軟でスケーラブルなエッチャー/アッシャー装置です。スパッタエッチング、プラズマエッチング、酸化クリーン、ディープドライエッチングなど、さまざまなプロセスを1回で実行できます。直感的なユーザーインターフェイスが付属しており、簡単な操作とさまざまなアプリケーションのレシピの便利なセットアップを可能にします。その高度な機能は、無駄を最小限に抑え、プロセスの再現性を最大限に高めます。このユニットはモジュラー設計を採用しており、さまざまなエッチングのニーズに柔軟で信頼性の高いソリューションを提供する複数のプロセスチャンバーを構成することができます。高性能プロセスソースを搭載し、2つの電源で最大8つのプラズマチャンバーを同時に動作させることができます。チャンバーには、必要なハードウェア、ビデオモニター、温度制御用の赤外線ピロメータ、独立したプロセス制御用のRF電源が個別に装備されています。このマシンは、手動およびプログラム可能なプラズマレシピの両方で、連続したプラズマプロセスと同時に効率的に調整できます。Flex 45には高度なプロセス制御ツールが付属しており、リアルタイムのフィードバックとプロセスパラメータのチューニングで高品質のプロセスを実現します。すぐに使用できる薄膜蒸着モジュールにより、蒸着プロセスを簡素化し、厚さ、組成、および応力制御を正確に制御できます。ソフトウェアの高度な統合により、レシピデータ、プロセス最適化、クリーニングシーケンスの効率的な管理と管理が可能になります。このアセットには、優れた真空制御およびポンピングシステムが装備されており、幅広いエッチング用途で正確で再現性のあるプロセスを保証します。また、正確なウェハ配置のためのオートダイビングノズル、広いプロセスウィンドウを備えた高速シャワーヘッド、n型およびp型の汚染を最小限に抑えるオンボードリサイクルモデルを備えています。LAM RESEARCH Flex 45は、シリコン、石英、ヒ素ガリウム、ゲルマニウムなど多種多様な基板を取り扱うことができます。全体として、Flex 45はさまざまな基板の柔軟で信頼性の高い処理に理想的なソリューションです。高度なプロセス能力、制御システム、高度な環境制御システムにより、さまざまなエッチングおよび洗浄アプリケーションのニーズを容易に満たすことができます。