中古 LAM RESEARCH Flex 45 #9315041 を販売中

LAM RESEARCH Flex 45は、強力で高速で柔軟なエッチャー/アッシャー装置で、さまざまなマイクロナノおよびナノ製造アプリケーションに最適です。ウェットプラズマエッチングとドライプラズマエッチング、アッシュクリーニングの両方を含む、エッチングとアッシュプロセスの幅広いプロセスオプションを提供します。金属、誘電体、ポリマーフィルム、導体など様々な材料のエッチング、アッシング、不活性化が可能です。Flex 45は、優れたプロセス再現性を提供し、エッチプロファイルと完成品の表面制御を正確に制御できます。自動化されたコーティングコントロールユニットを備えており、異なる実行と安定したエッチングと灰のレシピの整合性を確保し、プロセス最適化のための自動パラメーター調整を行います。これは、一貫したプロセスと再現性のある結果を保証するのに役立ちます。また、LAM RESEARCH Flex 45は、特定のプロセス条件を可能にするために幅広い圧力、温度、およびガスの流れを備えた大きなプロセスチャンバーを備えています。これにより、金属から誘電体、スパッタ、蒸着、PECVD、 CVDなどの様々な蒸着プロセスまで、さまざまな材料に最適です。このマシンはまた、ハードウェア構成の柔軟性を提供します。高出力、大容量チャンバ、複数チャンバ、拡張ベルジャー、およびその他のカスタムエンジニアリングされたハードウェア構成のオプションを使用して、お客様固有のアプリケーション要件を満たすように構成できます。全体として、Flex 45は優れたエッチャー/アッシャーツールで、エッチプロファイル、表面制御、およびさまざまな種類のプロセスアプリケーションでの再現性を正確に制御できます。汎用性が高く、お客様固有のニーズに合わせて構成することができます。LAM RESEARCH Flex 45の高速性能、大型プロセスチャンバー、幅広いプロセスオプションにより、マイクロナノおよびナノ製造アプリケーションに最適です。